[发明专利]大动态测量范围的波前测量系统及其测量方法

权利要求书

1.一种大动态范围的波前测量系统，用于激光光束波前的测量，其特征在于，包括：测量单元、数据处理单元及控制单元，该控制单元控制该测量单元移动至不同位置于待测激光光束中撷取一取样光束并将测量数据输出给数据处理单元，数据处理单元根据测量单元测量的该一取样光束的测量数据计算出该取样光束的前进方向，其中，该测量单元包括波前分割取样元件、聚光元件及光电传感器，该波前分割取样元件、聚光元件和光电传感器整合在一起形成测量单元。

2.如权利要求1所述的大动态范围的波前测量系统，其特征在于，所述波前分割取样元件为具有一微型针孔的挡光板，该微型针孔的直径远小于该激光光束的直径，用于于该激光光束中撷取一取样光束。

3.如权利要求2所述的大动态范围的波前测量系统，其特征在于，所述聚光元件为一微型透镜，该微透镜设置在微型针孔中。

4.如权利要求1所述的大动态范围的波前测量系统，其特征在于，所述光电传感器设置在聚光元件的后面，光电传感器的光敏面位于聚光元件的焦平面上，用于采集所述取样光束聚焦在光电感测器光敏面上的光斑的位置信息。

5.如权利要求4所述的大动态范围的波前测量系统，其特征在于，所述光电传感器为CCD传感器或COMS传感器。

6.如权利要求4所述的大动态范围的波前测量系统，其特征在于，所述数据处理单元根据光电感测器所采集取样光束的光斑的位置信息计算出光斑的质心坐标并进一步计算出该取样光束的前进方向。

7.一种大动态范围波前测量方法，用于测量激光光波前，其特征在于，包括以下步骤：

对入射激光光束进行分割取样，于入射激光光束中撷取一待测取样光束；

将所述取样光束聚焦在一光电传感器的光敏面上；

采集所述取样光束聚焦在光电感测器光敏面上的光斑的位置信息，计算出该光斑的质心坐标并进一步计算出该取样光束的前进方向；

在侦测平面内不同的位置，撷取另一待测取样光束，重复上述步骤，测量该侦测平面内的该另一待测取样光束。