[发明专利]大动态测量范围的波前测量系统及其测量方法无效

申请号：	201310120246.8	申请日：	2013-04-09
公开（公告）号：	CN104101435A	公开（公告）日：	2014-10-15
发明（设计）人：	王何立颖	申请（专利权）人：	鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
主分类号：	G01J9/00	分类号：	G01J9/00
代理公司：	暂无信息	代理人：	暂无信息
地址：	518109 广东省深圳市***	国省代码：	广东;44
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摘要：
搜索关键词：	动态测量范围系统及其测量方法
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【说明书】：

技术领域

本发明涉及激光波前测量系统，尤其涉及大动态测量范围的波前测量系统及测量方法。

背景技术

哈特曼波前测量系统通常由波前分割取样数组（通常选用微透镜数组）、光电传感器数组（通常选用CCD数组）、计算机和数据处理软件等部分组成。微透镜数组中的子透镜将入射波前分割成相应的子区域，并且将子孔径范围内的光束聚焦到CCD传感器的光敏面上。通过图像采信号控制CCD传感器采集光斑数组的图像信息，再把采集到的图像信息传输给计算机，由计算机的数据处理软件计算出畸变波前光斑质心坐标与参考波前质心坐标之差，从而获得每个子区域上的波前信息，最后通过波前重构算法计算出入射波前的波前形状。

现有的Shack-Hartmann（夏克-哈特曼）波前测量系统，由于波前分割取样数组的每个孔径皆对应到光电传感器数组上各自固定面积的感应区域，所以可量测范围的角度被限制在一定范围，对于大散射角的单模激光，现有的夏克哈特曼波前测量系统不能精确的测量。

发明内容

有鉴于此，本发明提供一种大动态测量范围的波前测量系统及其波前测量方法。

一种大动态测量范围的波前测量系统，用于量激光光束波前的测量，包括：测量单元、数据处理单元及控制单元，该控制单元控制该测量单元移动至不同位置测量待测激光光束中一取样光束并并将测量数据输出给数据处理单元，数据处理单元根据该一取样光束的测量数据计算出该取样光束的前进方向，其中，该测量单元包括波前分割取样元件、聚光元件及光电感测器。

大动态测量范围的波前测量方法，用于测量激光光波前测量，包括以下步骤：

对入射激光光束进行分割取样，于入射激光光束中撷取一待测取样光束；

将所述取样光束聚焦在一光电感测器的光敏面上；

采集所述取样光束聚焦在光电感测器光敏面上的光斑的位置信息，计算出光斑的质心坐标；

在侦测平面内不同的位置，撷取另一待测取样光束，重复上述步骤，测量该侦测平面内的该另一待测取样光束。

本发明通过对夏克-哈特曼波前测量系统的波前分割取样单元及光传感器单元进行改进，由整体测量转换为单点测量，有效地增加了波前传感的的动态测量范围及测量精度。

附图说明

图1为本发明一实施例大动态测量范围的波前测量系统的结构示意图。

图2为本发明一实施例大动态范围波前测量方法的流程图。

主要元件符号说明