[发明专利]物理量传感器以及电子设备在审
| 申请号: | 201310110518.6 | 申请日: | 2013-04-01 |
| 公开(公告)号: | CN103364586A | 公开(公告)日: | 2013-10-23 |
| 发明(设计)人: | 田中悟 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号: | G01P15/125 | 分类号: | G01P15/125 |
| 代理公司: | 北京金信立方知识产权代理有限公司 11225 | 代理人: | 黄威;苏萌萌 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | 本发明提供一种物理量传感器以及电子设备,所述物理量传感器能够在实现小型化的同时,抑制在弹簧部上作用有静电力的情况。所述物理量传感器(100)包括:可动体(26),其能够在第一轴的方向上进行位移;固定电极部(52、54),其以与可动电极部(50)对置的方式而设置;作为连接部件的弹簧部(30),且对固定部(23)和可动体(26)进行连接,并且,包括从固定部(23)起沿着与第一轴的方向交叉的第二轴而延伸的第一延伸部(31a)、与第一延伸部(31a)连接的折回部(31b)、以及从折回部(31b)起沿着第二轴而延伸的第二延伸部(31c);壁部(40),其从固定部(23)起延伸,且在俯视观察时被设置在弹簧部(30)的第一延伸部(31a)及折回部(31b)的外侧,弹簧部(30)和壁部(40)被电连接。 | ||
| 搜索关键词: | 物理量 传感器 以及 电子设备 | ||
【主权项】:
一种物理量传感器,包括:可动体,其具备可动电极部,且能够沿着第一轴而进行位移;固定电极部,其以与所述可动电极部对置的方式而设置;连接部件,其对固定部和所述可动体进行连接,并且,包括从所述固定部起沿着与所述第一轴的方向交叉的第二轴而延伸的第一延伸部、与所述第一延伸部连接的折回部、以及从所述折回部起沿着所述第二轴而延伸的第二延伸部;壁部,其从所述固定部起延伸,且在俯视观察时被设置在所述连接部件的第一延伸部及所述折回部的外侧,所述连接部件和所述壁部被电连接。
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