[发明专利]物理量传感器以及电子设备

说明书

技术领域

本发明涉及一种物理量传感器以及电子设备。

背景技术

近年来，开发出一种例如使用硅MEMS（Micro Electro Mechanical System：微电子机械系统）技术而对物理量进行检测的物理量传感器。

物理量传感器例如包括如下的功能元件，所述功能元件具有被固定在基板上的固定电极、和隔着间隙而与固定电极对置配置并具备可动电极的可动体，并且所述功能元件根据固定电极与可动电极之间的静电电容，而对加速度等物理量进行检测。可动体通过经由弹簧部而与被固定在基板上的固定部连接，从而能够根据物理量的变化而进行位移。

在上述这种功能元件中，特别是在弹簧部上有时会因其他的功能元件或引出配线而作用有不需要的静电力。因此，有时会因灵敏度降低等而无法得到所预期的特性。

例如，在专利文献1中公开了如下的技术，即，在被配置于传感器元件部的外周的外周部处设置有衬垫，并通过控制电路而向该衬垫施加电压，从而对外周部的电位进行固定的技术。而且，在专利文献1中公开了如下的内容，即，作为对外周部进行固定的电位，而施加被施加于可动电极上的电位。由此，例如，抑制了在外周部与梁部之间作用有静电力的情况。

但是，在专利文献1所记载的技术中，由于在外周部设置有用于对电位进行固定的专用的衬垫，因此难以实现物理量传感器的小型化。

专利文献1：日本特开2007－279056号公报

发明内容

本发明的若干方式所涉及的目的之一在于，提供一种能够在实现小型化的同时，抑制在弹簧部上作用有静电力的情况的物理量传感器。此外，本发明的若干方式所涉及的目的之一在于，提供一种具有上述的物理量传感器的电子设备。

本发明是为了解决上述课题的至少一部分而完成的，其能够以如下的方式或应用例的形式来实现。

应用例1

本应用例所涉及的物理量传感器包括：可动体，其具备可动电极部，且能够沿着第一轴而进行位移；固定电极部，其以与所述可动电极部对置的方式而设置；连接部件，其对固定部和所述可动体进行连接，并且，包括从所述固定部起沿着与所述第一轴的方向交叉的第二轴而延伸的第一延伸部、与所述第一延伸部连接的折回部、以及从所述折回部起沿着所述第二轴而延伸的第二延伸部；壁部，其从所述固定部起延伸，在俯视观察时被设置在所述连接部件的第一延伸部及所述折回部的外侧，所述连接部件和所述壁部被电连接。

根据这种物理量传感器，能够通过壁部来抑制如下的情况，即，由于具有电位与连接部件不同的部件（例如，其他的功能元件等）而在连接部件上作用有静电力的情况。

而且，根据这种物理量传感器，由于连接部件和壁部被电连接，因此不需要设置用于对壁部的电位进行固定的专用的连接端子。因此，能够实现小型化。如以上所述，在这种物理量传感器中，能够在实现小型化的同时，抑制在连接部件上作用有静电力的情况。

另外，在本发明所涉及的记载中，将“电连接”这样的语句应用为，例如，“被“电连接”于指定部件（以下，称为“A部件”）的其他指定部件（以下，称为“B部件”）”等。在本发明所涉及的记载中，在这种示例的情况下，作为如下的两种情况而使用了“电连接”这样的语句，所述两种情况为：A部件和B部件以直接相接的方式而被电连接这样的情况；A部件和B部件经由其他部件而被电连接这样的情况。

应用例2

在本应用例所涉及的物理量传感器中，还可以采用如下方式，即，所述壁部具备：在俯视观察时，沿着所述第一延伸部而设置的第一壁部、和沿着所述折回部而设置的第二壁部。

根据这种物理量传感器，能够更加可靠地抑制在连接部件上作用有静电力的情况。

应用例3

在本应用例所涉及的物理量传感器中，连接有所述连接部件的、所述可动体的端部，位于与所述第二壁部的所述第一轴的方向上的端面相比靠所述固定部侧的位置处。

根据这种物理量传感器，能够更加可靠地抑制在连接部件上作用有静电力的情况。

应用例4

在本应用例所涉及的物理量传感器中，具备与所述固定电极部电连接的配线，所述壁部被设置在所述连接部件与所述配线之间。

根据这种物理量传感器，能够通过壁部来抑制由于配线而在连接部件上作用有静电力的情况。

应用例5

在本应用例所涉及的物理量传感器中，还可以采用如下方式，即，以与所述连接部件相邻的方式而配置有所述可动电极部。