[发明专利]物理量传感器以及电子设备

权利要求书

1.一种物理量传感器，包括：

可动体，其具备可动电极部，且能够沿着第一轴而进行位移；

固定电极部，其以与所述可动电极部对置的方式而设置；

连接部件，其对固定部和所述可动体进行连接，并且，包括从所述固定部起沿着与所述第一轴的方向交叉的第二轴而延伸的第一延伸部、与所述第一延伸部连接的折回部、以及从所述折回部起沿着所述第二轴而延伸的第二延伸部；

壁部，其从所述固定部起延伸，且在俯视观察时被设置在所述连接部件的第一延伸部及所述折回部的外侧，

所述连接部件和所述壁部被电连接。

2.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，

所述壁部具备：在俯视观察时，沿着所述第一延伸部而设置的第一壁部、和沿着所述折回部而设置的第二壁部。

3.如权利要求2所述的物理量传感器，其中，

连接有所述连接部件的、所述可动体的端部，位于与所述第二壁部的所述第一轴的方向上的端面相比靠所述固定部侧的位置处。

4.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，

具备与所述固定电极部电连接的配线，

所述壁部被设置在所述连接部件与所述配线之间。

5.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，

以与所述连接部件相邻的方式而配置有所述可动电极部。

6.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，

具备固定有所述固定部及所述固定电极部的基板，

在所述基板上设置有凹部，

所述可动体被配置在所述凹部上，

所述壁部沿着所述凹部的外边缘而配置。

7.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，

所述固定部、所述可动体、所述连接部件以及所述壁部被一体地设置。

8.一种电子设备，其包括权利要求1所述的物理量传感器。