[发明专利]检测元件和摄像器件及它们的制造方法以及电子设备

摘要

本发明提供一种检测元件和摄像器件及它们的制造方法以及电子设备。在现有的检测元件中难以提高生产性和可靠性。一种检测元件的制造方法，所述检测元件具有：温度根据已吸收的电磁波的量而上升的吸收部以及特性根据从所述吸收部传递的热的量而发生变化的电容器(37)，其特征在于，所述检测元件的制造方法包括：在基板形成电容器(37)的工序；形成覆盖电容器(37)的保护膜(79)的工序；在形成保护膜(79)的工序之后，在基板的俯视观察时与电容器(37)重叠的区域形成空洞部的工序；以及在形成空洞部的工序之后，在保护膜(79)的与电容器(37)侧相反的一侧且俯视观察时与电容器(37)重叠的区域涂布含有构成所述吸收部的材料的液状体(81a)后，固化液状体(81a)，从而形成所述吸收部的工序。

主权项

一种检测元件的制造方法，所述检测元件具有：温度根据已吸收的电磁波的量而上升的吸收部以及特性根据从所述吸收部传递的热的量而发生变化的检测部，其特征在于，所述检测元件的制造方法包括：检测部形成工序，在基板上形成所述检测部；保护膜形成工序，形成覆盖所述检测部的保护膜；空洞部形成工序，在所述保护膜形成工序之后，在所述基板的俯视观察时与所述检测部重叠的区域形成空洞部；以及吸收部形成工序，在所述空洞部形成工序之后，在所述保护膜的与所述检测部侧相反的一侧且俯视观察时与所述检测部重叠的区域涂布含有构成所述吸收部的材料的液状体后，固化所述液状体，从而形成所述吸收部。