[发明专利]检测元件和摄像器件及它们的制造方法以及电子设备

说明书

技术领域

本发明涉及检测元件的制造方法、摄像器件的制造方法、检测元件、摄像器件、电子设备等。

背景技术

一直以来，作为检测元件之一，已知有焦电型的检测元件(例如，参照专利文献1)。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2011-203168号公报。

发明内容

在上述专利文献1记载的检测元件中，能够检测作为电磁波的一种的红外线。在该检测元件中，红外线吸收体吸收红外线，从而红外线吸收体发热，并能够根据由该热引起的电容器的极化量的变化来检测红外线。

在这样的焦电型的检测元件中，从提高电磁波的吸收率的角度来看，优选吸收电磁波的吸收体的厚度厚的。然而，增加吸收体的厚度时，难以确保为了保护吸收体而覆盖吸收体的保护膜的厚度。换言之，增加吸收体的厚度时，覆盖吸收体的保护膜的阶梯覆盖率容易下降。阶梯覆盖率下降时，保护吸收体的功能容易下降。其结果是，检测元件的生产性和可靠性容易下降。

就是说，在现有的检测元件中，存在难以提高生产性和可靠性这样的课题。

本发明是为了解决上述课题的至少一部分而做出的，可作为以下方式或应用例而实现。

应用例1

一种检测元件的制造方法，所述检测元件具有：温度根据已吸收的电磁波的量而上升的吸收部以及特性根据从所述吸收部传递的热的量而发生变化的检测部，其特征在于，所述检测元件的制造方法包括：检测部形成工序，在基板上形成所述检测部；保护膜形成工序，形成覆盖所述检测部的保护膜；空洞部形成工序，在所述保护膜形成工序之后，在所述基板的俯视观察时与所述检测部重叠的区域形成空洞部；以及吸收部形成工序，在所述空洞部形成工序之后，在所述保护膜的与所述检测部侧相反的一侧且俯视观察时与所述检测部重叠的区域涂布含有构成所述吸收部的材料的液状体后，固化所述液状体，从而形成所述吸收部。

在该应用例的检测元件的制造方法中，形成空洞部后形成吸收部，因而能够避免吸收部因空洞部形成工序而受到损坏。因此，能够省略保护吸收部的膜。其结果是，能够提高检测元件的生产性和可靠性。

应用例2

上述检测元件的制造方法中，其特征在于，在所述吸收部形成工序中，将所述液状体作为液滴吐出并进行涂布。

在该应用例中，在吸收部形成工序中，采用将液状体作为液滴吐出并进行涂布的方法。在该方法中，容易对液状体高精度地进行图案化。因此，依据该检测元件的制造方法，能够容易且精度良好地配置吸收体。

应用例3

上述检测元件的制造方法中，其特征在于，所述检测部形成工序包括：在所述基板上形成第一电极的工序；在所述第一电极的与所述基板侧相反的一侧形成焦电体的工序；以及在所述焦电体的与所述第一电极侧相反的一侧形成第二电极的工序。

在该应用例中，能够制造具有在互相对置的第一电极和第二电极之间存在焦电体的结构的检测元件。

应用例4

上述检测元件的制造方法中，其特征在于，所述检测元件的制造方法还包括在所述检测部形成工序之前、在所述基板上形成牺牲层的牺牲层形成工序，在所述检测部形成工序中，在所述基板的俯视观察时与所述牺牲层重叠的区域形成所述检测部，在所述空洞部形成工序中，通过除去所述牺牲层来形成所述空洞部。

在该应用例中，在与牺牲层重叠的区域形成检测部后除去牺牲层，因而能够容易地形成空洞部。

应用例5

上述检测元件的制造方法中，其特征在于，所述空洞部形成工序包括：在所述检测部的周围形成到达所述牺牲层的孔的工序；以及从所述孔供给蚀刻剂并除去所述牺牲层的工序。

在该应用例中，能够通过从达到牺牲层的孔供给蚀刻剂来除去牺牲层。在该制造方法中，能够利用蚀刻形成空洞部。而且，依据该检测元件的制造方法，能够避免吸收部因空洞部形成工序中的蚀刻而受到损坏。另外，依据该制造方法，在吸收部形成工序中，能够容易地避免涂布在保护膜上的液状体流入空洞部。

应用例6

一种摄像器件的制造方法，利用上述检测元件的制造方法，沿二轴方向排列所述检测元件。

在该应用例的摄像器件的制造方法中，在检测元件的制造中，形成空洞部后形成吸收部，因而能够避免吸收部因空洞部形成工序而受到损坏。因此，能够省略保护吸收部的膜。其结果是，能够制造容易地提高检测元件的生产性和可靠性的摄像器件。

应用例7