[发明专利]一种基板减压干燥方法及装置有效
| 申请号： | 201310103630.7 | 申请日： | 2013-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN103234328A | 公开（公告）日： | 2013-08-07 |
| 发明（设计）人： | 王耸;王冀豫;冯贺;吴洪江 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
| 主分类号： | F26B5/04 | 分类号： | F26B5/04;F26B9/06;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了基板制造技术领域中的一种基板减压干燥方法及装置。首先将基板置于密封空间；然后将所述基板的待干燥面划分为设定个密封区；之后对所述密封区抽气减压；最后对所述密封区吹气干燥，从密封空间取出基板。本发明能对各种尺寸的基板进行减压干燥；最大限度地保证了压力和湿度的均匀，避免了减压干燥斑点的形成。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 减压 干燥 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种基板减压干燥方法，其特征是，该方法包括以下步骤：S1：将基板置于密封空间；S2：将所述基板的待干燥面划分为设定个密封区；S3：对所述密封区抽气减压；S4：对所述密封区吹气干燥，从密封空间取出基板。
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