[发明专利]一种基板减压干燥方法及装置

权利要求书

1.一种基板减压干燥方法，其特征是，该方法包括以下步骤：

S1：将基板置于密封空间；

S2：将所述基板的待干燥面划分为设定个密封区；

S3：对所述密封区抽气减压；

S4：对所述密封区吹气干燥，从密封空间取出基板。

2.如权利要求1所述的方法，其特征是，所述步骤S3具体为：

S31：选择一个所述密封区作为第一减压区进行抽气减压；当所述第一减压区内的压力小于设定压力值时进入步骤S32；

S32：若第一减压区有相邻的密封区，则将所述第一减压区和所述第一减压区相邻的一个密封区连通后形成的区域作为第一减压区，进入步骤S33；否则，第一减压区没有相邻的密封区，抽气结束；

S33：对此时的第一减压区进行抽气减压，当第一减压区内的压力小于所述设定压力值时，返回步骤S32。

3.如权利要求2所述的方法，其特征是，在所述步骤S3之后还包括：将第一减压区重新划分为所述设定个密封区。

4.如权利要求3所述的方法，其特征是，所述步骤S4具体为：

S41：选择一个所述密封区作为第一干燥区进行吹气干燥，当所述第一干燥区内的湿度小于设定湿度值时进入步骤S42；

S42：若第一干燥区有相邻的密封区，则将所述第一干燥区和所述第一干燥区相邻的一个密封区连通后形成的区域作为第一干燥区，进入步骤S43；否则，第一干燥区没有相邻的密封区，干燥结束，从密封空间取出基板；

S43：对此时的第一干燥区进行吹气干燥，当第一干燥区内的湿度小于所述设定湿度值时，返回步骤S42。

5.一种实现权利要求1所述方法的装置，其特征是，该装置包括：

干燥仓，用于放置待干燥的基板；

密封盖，用于将所述干燥仓和外部空气隔绝；

控制板，位于所述干燥仓的下部，用于控制基板的干燥过程；

所述干燥仓包括第一挡板、第二挡板、第三挡板和底板；第一挡板、第二挡板、第三挡板、底板和控制板构成矩形槽。

6.如权利要求5所述的装置，其特征是，所述控制板上间隔设置有槽。

7.如权利要求6所述的装置，其特征是，所述第一挡板上对应所述控制板上的槽间隔设置有槽。

8.如权利要求7所述的装置，其特征是，所述第二挡板上间隔设置有槽。

9.如权利要求8所述的装置，其特征是，所述第三挡板对应所述第二挡板上的槽间隔设置有槽。

10.如权利要求9所述的装置，其特征是，所述装置还包括隔离挡板，用于通过所述第一挡板上的槽和控制板上的槽或第二挡板上的槽和第三挡板上的槽划分所述矩形槽。

11.如权利要求10所述的装置，其特征是，所述隔离挡板上设有连通隔离挡板两侧的压力控制阀。

12.如权利要求11所述的装置，其特征是，所述控制板上的槽之间设有抽气端口。

13.如权利要求12所述的装置，其特征是，所述控制板上的槽之间设有吹气端口。

14.如权利要求13所述的装置，其特征是，所述控制板上的槽之间设有压力传感器。

15.如权利要求14所述的装置，其特征是，所述控制板上的槽之间设有湿度传感器。

16.如权利要求15所述的装置，其特征是，所述控制板上设有用于监控减压干燥过程的控制面板。

17.如权利要求16所述的装置，其特征是，所述控制板内设有空气泵，所述空气泵的一端与所述控制面板连接；所述空气泵的另一端与所述抽气端口和吹气端口连接。