[发明专利]一种基板减压干燥方法及装置

说明书

技术领域

本发明涉及基板制造技术领域，特别涉及一种基板减压干燥方法及装置。

背景技术

目前的减压干燥（VCD）设备的排气孔设置有两种方式，一种是中心排气，另一种是四周排气。但无论哪种排气方式，对于大尺寸的玻璃基板来说，会由于排气孔数量少及分布问题，造成排气不均匀，加上光刻胶本身的流动性较差，导致基板表面的气流不均，基板表面的湿度不同等原因，在减压干燥后，会产生减压干燥斑点，最常见的是类似月牙形的斑点。目前业内无法对减压干燥的斑点进行有效控制，增加了基板质量的误判率，不利于对基板质量的检测，影响了基板的品质，给后续工作带来不便。

发明内容

（一）要解决的技术问题

本发明要解决的技术问题是：如何提供一种基板减压干燥方法及装置，以解决现有基板减压干燥过程中存在的减压干燥斑点的问题。

（二）技术方案

为解决上述技术问题，本发明提供了一种基板减压干燥方法，其特征是，该方法包括以下步骤：

S1：将基板置于密封空间；

S2：将所述基板的待干燥面划分为设定个密封区；

S3：对所述密封区抽气减压；

S4：对所述密封区吹气干燥，从密封空间取出基板。

所述步骤S3具体为：

S31：选择一个所述密封区作为第一减压区进行抽气减压；当所述第一减压区内的压力小于设定压力值时进入步骤S32；

S32：若第一减压区有相邻的密封区，则将所述第一减压区和所述第一减压区相邻的一个密封区连通后形成的区域作为第一减压区，进入步骤S33；否则，第一减压区没有相邻的密封区，抽气结束；

S33：对此时的第一减压区进行抽气减压，当第一减压区内的压力小于所述设定压力值时，返回步骤S32。

在所述步骤S3之后还包括：将第一减压区重新划分为所述设定个密封区。

所述步骤S4具体为：

S41：选择一个所述密封区作为第一干燥区进行吹气干燥，当所述第一干燥区内的湿度小于设定湿度值时进入步骤S42；

S42：若第一干燥区有相邻的密封区，则将所述第一干燥区和所述第一干燥区相邻的一个密封区连通后形成的区域作为第一干燥区，进入步骤S43；否则，第一干燥区没有相邻的密封区，干燥结束，从密封空间取出基板；

S43：对此时的第一干燥区进行吹气干燥，当第一干燥区内的湿度小于所述设定湿度值时，返回步骤S42。

一种基板减压干燥装置，其特征是，该装置包括：

干燥仓，用于放置待干燥的基板；

密封盖，用于将所述干燥仓和外部空气隔绝；

控制板，位于所述干燥仓的下部，用于控制基板的干燥过程；

所述干燥仓包括第一挡板、第二挡板、第三挡板和底板；第一挡板、第二挡板、第三挡板、底板和控制板构成矩形槽。

所述控制板上间隔设置有槽。

所述第一挡板上对应所述控制板上的槽间隔设置有槽。

所述第二挡板上间隔设置有槽。

所述第三挡板对应所述第二挡板上的槽间隔设置有槽。

所述装置还包括隔离挡板，用于通过所述第一挡板上的槽和控制板上的槽或第二挡板上的槽和第三挡板上的槽划分所述矩形槽。

所述隔离挡板上设有连通隔离挡板两侧的压力控制阀。

所述控制板上的槽之间设有抽气端口。

所述控制板上的槽之间设有吹气端口。

所述控制板上的槽之间设有压力传感器。

所述控制板上的槽之间设有湿度传感器。

所述控制板上设有用于监控减压干燥过程的控制面板。

所述控制板内设有空气泵，所述空气泵的一端与所述控制面板连接；所述空气泵的另一端与所述抽气端口和吹气端口连接。

（三）有益效果

本发明具有以下优点：

1.将大尺寸的基板划分小的密封区进行减压干燥，降低了减压干燥过程的难度，易于实现；

2.对密封区逐个进行减压/干燥，最大限度地保证了压力和湿度的均匀，避免了减压干燥斑点的形成；

3.干燥仓可通过第一挡板、第二挡板、第三挡板、底板和控制板构成的矩形槽可根据基板的形状进行调整，能对各种尺寸的基板进行减压干燥；

4.第一挡板、第二挡板、第三挡板和控制板上对应设置有用于安装隔离挡板的槽，可以对密封区的大小灵活控制；

5.相邻的密封区通过压力控制阀进行连通控制，结构简单有效，过程容易控制，压力控制阀设置简单；