[发明专利]用于放大激光束的设备有效
申请号: | 201310103406.8 | 申请日: | 2013-03-28 |
公开(公告)号: | CN103368055B | 公开(公告)日: | 2018-05-18 |
发明(设计)人: | J·舒尔茨;O·米勒 | 申请(专利权)人: | 通快激光系统半导体制造有限公司 |
主分类号: | H01S3/10 | 分类号: | H01S3/10;H01S3/03 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 蔡胜利 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供了一种用于放大激光束(10)的设备(21)。设备(21)包括:至少一个放大器室(22),在所述放大器室(22)中提供激光激活材料;至少一个透射光学部件(23),其限定出放大器室(22),且布置成:相对于垂直于激光束(10)的光轴(26)定向的平面成倾斜角度(α);以及至少一个检测单元(24)。激光束(10)由透射光学部件反射成向后反射的激光束(27),且检测单元(24)布置成能够检测向后反射的激光束(27)。 | ||
搜索关键词: | 用于 放大 激光束 设备 | ||
【主权项】:
1.一种用于放大激光束(10)的设备(21),所述设备包括:至少一个放大器室(22),在所述放大器室中具有激光激活材料;至少一个透射光学部件(23),所述透射光学部件界定所述至少一个放大器室(22),且相对于与激光束(10)的光轴(26)垂直定向的平面成倾斜角度(α)地布置;以及检测单元(24),所述检测单元布置成能够检测在透射光学部件(23)处向后反射的激光束(27),其特征在于,设置至少一个偏转镜(29),所述偏转镜将向后反射的激光束(27)偏转到检测单元(24)上,偏转镜(29)布置成所述偏转镜既偏转向后反射的激光束(27)也偏转激光束(10),以及激光束(10)和被偏转的激光束(10′)形成偏转平面,且透射光学部件(23)布置成向后反射的激光束(27)在偏转平面之外投射在偏转镜(29)上。
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