[发明专利]用于放大激光束的设备有效
申请号: | 201310103406.8 | 申请日: | 2013-03-28 |
公开(公告)号: | CN103368055B | 公开(公告)日: | 2018-05-18 |
发明(设计)人: | J·舒尔茨;O·米勒 | 申请(专利权)人: | 通快激光系统半导体制造有限公司 |
主分类号: | H01S3/10 | 分类号: | H01S3/10;H01S3/03 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 蔡胜利 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 放大 激光束 设备 | ||
提供了一种用于放大激光束(10)的设备(21)。设备(21)包括:至少一个放大器室(22),在所述放大器室(22)中提供激光激活材料;至少一个透射光学部件(23),其限定出放大器室(22),且布置成:相对于垂直于激光束(10)的光轴(26)定向的平面成倾斜角度(α);以及至少一个检测单元(24)。激光束(10)由透射光学部件反射成向后反射的激光束(27),且检测单元(24)布置成能够检测向后反射的激光束(27)。
技术领域
本发明涉及一种用于放大激光束的设备,尤其涉及一种激光束在各个的放大级中被分析的设备。
背景技术
特别地,由多级放大器系统形成的用于放大激光束的设备是已知的。为了分析每个放大级之间的激光束,这些设备使用附加的部分透射构件、例如部分透射镜。
但是,使用这些部分透射镜意味着必须设置附加的元件。然而,由于附加的元件的使用,因此结构因为附加的元件以及附加的空间是必需的而变得更加昂贵。
此外,由于镜的部分透射,难以冷却镜的背面。
然而,当使用激光束时,光束还可能沿相对于激光束的相反的方向传播。这些反向光束可由于“自激射”或前向光束在激光系统的元件上的反射、或当处理目标时由于从该目标的反射而产生。为了分析这些反向光束,需要例如另外的部分透射镜。
发明内容
本发明所基于的目的是消除上述缺点,并提供一种用于放大激光束的设备,尤其是提供一种具有简单的结构的设备,其中,所述设备实现紧凑的设计,且所述设备包括减少了数量的元件。
该目的由根据权利要求1的设备实现。进一步的发展是从属权利要求的主题。
通过提供根据权利要求1的设备,激光束在为允许激光束通过而设的透射光学部件处被部分地向后反射。向后反射的光束在放大器室内被导向至检测单元。因此,所述设备可被紧凑地设计,并可使用减少了数量的元件。
附图说明
本发明借助于参考附图的实施例来阐述。
图1示出了一个实施例中的CO
图2是用于放大激光束的设备的第一实施例的大体的图示,所述设备具有在放大器室内的检测单元;
图3是具有在放大器室外部的检测单元的设备的第二实施例的大体的图示;
图4是具有两个邻接的放大器室的设备的第三实施例的大体的图示;
图5是具有三个邻接的放大器室的设备的第四实施例的大体的图示;
图6是具有在放大器室中的偏转镜的设备的大体的图示;
图7是设备中的光束路径的大体的图示,其中,偏转镜被用于激光束和被反射的光束;
图8示出了具有两个偏转镜的设备的另一替代性实施例的光束路径;以及
图9是设备的另一实施例的大体的图示,前向和反向激光束在其中被分析。
具体实施方式
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