[发明专利]空气离子清洗装置无效
| 申请号： | 201310098906.7 | 申请日： | 2013-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN104070042A | 公开（公告）日： | 2014-10-01 |
| 发明（设计）人： | 张仁淙 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明用于提供一种空气离子清洗装置，该空气离子清洗装置用于对图像传感器表面的离子进行清洗，该空气离子清洗装置包括有气体输入装置、平板电极，置于平板电极间的电磁阀、高压射频电压源、多个支撑部，及两个抽真空装置，该支撑部用于放置待清洗的图像传感器，该气体输入装置用于向平板电极之间输入混合气体，该高压射频电压源用于游离平板电极之间的气体，产生带电的气体组合，该带电的气体组合流向至图像传感器表面以使该图像传感器的表面带电，及使得该图像传感器表面的离子被离子化为带电离子，该抽真空装置用于将图像传感器表面带电的离子抽离到外部吸集器。本发明的空气离子清洗装置，可避免在清洗的同时对图像传感器再次污染。 | ||
| 搜索关键词： | 空气 离子 清洗 装置 | ||
【主权项】：
一种空气离子清洗装置，该空气离子清洗装置用于对图像传感器表面的离子进行清洗，其特征在于：该空气离子清洗装置包括有气体输入装置、与气体输入装置连接的平板电极，置于平板电极间的电磁阀、置于平板电极两侧的高压射频电压源、置于平板电极下方的多个支撑部，及置于支撑部两侧的两个抽真空装置，该支撑部用于放置待清洗的图像传感器，该气体输入装置用于向平板电极之间输入混合气体，该高压射频电压源用于游离平板电极之间的气体，产生带电的气体组合，该电磁阀用于控制气体输入装置向平板电极间输入混合气体的流量，该带电的气体组合流向至图像传感器表面以使该图像传感器的表面带电，及使得该图像传感器表面的离子被离子化为带电离子，该抽真空装置用于将图像传感器表面带电的离子抽离到外部吸集器。
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