[发明专利]空气离子清洗装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种空气离子清洗装置。

背景技术

现有技术下，对于准备封装的图像传感器通常还需要人为来操作机台，由此将会导致图像传感器被污染。因此，客户在要求封装图像传感器时，都需要严格的限制可容许在图像传感器上的离子的数量。鉴于此，有必要提供一种可对图像传感器表面上的离子进行处理的清洗装置。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种空气离子清洗装置,旨在解决上述的问题。

本发明用于提供一种空气离子清洗装置，该空气离子清洗装置用于对图像传感器表面的离子进行清洗，该空气离子清洗装置包括有气体输入装置、与气体输入装置连接的平板电极，置于平板电极间的电磁阀、置于平板电极两侧的高压射频电压源、置于平板电极下方的多个支撑部，及置于支撑部两侧的两个抽真空装置，该支撑部用于放置待清洗的图像传感器，该气体输入装置用于向平板电极之间输入混合气体，该高压射频电压源用于游离平板电极之间的气体，产生带电的气体组合，该电磁阀用于控制气体输入装置向平板电极间输入混合气体的流量，该带电的气体组合流向至图像传感器表面以使该图像传感器的表面带电，及使得该图像传感器表面的离子被离子化为带电离子，该抽真空装置用于将图像传感器表面带电的离子抽离到外部吸集器。

本发明的空气离子清洗装置，其通过空气离子对图像传感器表面的离子进行清洗，以此避免在清洗的同时对图像传感器再次污染。

附图说明

图1为本发明空气离子清洗装置的硬件结构图。

主要元件符号说明

如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本发明。

具体实施方式

请参考图1所示，为一种空气离子清洗装置100的硬件结构图。该空气离子清洗装置100用于对图像传感器6表面的离子进行清洗。

该空气离子清洗装置100包括有气体输入装置1、与气体输入装置1连接的平板电极2、置于平板电极2间的电磁阀3、置于平板电极2两侧的高压射频电压源8、置于平板电极2下方的多个可移动的支撑部5、置于支撑部5两侧的两个抽真空装置4及分别设置抽真空装置4外的高压游离电极7。该图像传感器6置于该支撑部5上。

该气体输入装置1用于向平板电极2之间输入混合气体。本实施方式中，该气体输入装置1输入至平板电极2间的混合气体包括有氧气及氩气。该高压射频电压源8用于驱使平板电极2之间的气体游离，并产生带电的气体组合。该电磁阀3用于控制气体输入装置1向平板电极2间输入的混合气体的流量。在清洗图像传感器6时，该带电的气体组合流向至图像传感器6表面以使该图像传感器6的表面带电，该图像传感器6表面的离子被离子化为带电离子。由于图像传感器6带电表面的电性与图像传感器6表面的带电离子的电性相同，因此两者相斥，该抽真空装置4用于在图像传感器6带电表面与图像传感器6表面的带电离子相斥时，很容易将图像传感器6表面带电的离子抽离到一个外部吸集器（未标示）内。在抽真空装置4将图像传感器6表面带电的离子抽离到外部吸集器内时，可能会将外部气体带入导致该图像传感器6被再次污染，因此该置于抽真空装置4外的高压游离电极7用于将抽真空装置4在抽离图像传感器6表面带电的离子时所吸入的空气进行游离带电，之后在由抽真空装置4将气体游离后的带电离子抽离至外部吸集器内，以防止外部气体再次污染该图像传感器6。

进一步地，由于该平板电极2每次只能对一个图像传感器6表面的离子进行清洗，因此，该空气离子清洗装置100还包括有固定于支撑部5下方的传送装置9，该传送装置9用于传送该支撑部5，以将清洗完成的图像传感器6移走，而将另外一个支撑部5移动至平板电极2下方，以将另外一个待清洗的图像传感器6表面的离子进行清洗。