[发明专利]空气离子清洗装置无效
| 申请号： | 201310098906.7 | 申请日： | 2013-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN104070042A | 公开（公告）日： | 2014-10-01 |
| 发明（设计）人： | 张仁淙 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 空气 离子 清洗 装置 | ||
1.一种空气离子清洗装置，该空气离子清洗装置用于对图像传感器表面的离子进行清洗，其特征在于：该空气离子清洗装置包括有气体输入装置、与气体输入装置连接的平板电极，置于平板电极间的电磁阀、置于平板电极两侧的高压射频电压源、置于平板电极下方的多个支撑部，及置于支撑部两侧的两个抽真空装置，该支撑部用于放置待清洗的图像传感器，该气体输入装置用于向平板电极之间输入混合气体，该高压射频电压源用于游离平板电极之间的气体，产生带电的气体组合，该电磁阀用于控制气体输入装置向平板电极间输入混合气体的流量，该带电的气体组合流向至图像传感器表面以使该图像传感器的表面带电，及使得该图像传感器表面的离子被离子化为带电离子，该抽真空装置用于将图像传感器表面带电的离子抽离到外部吸集器。
2.如权利要求1所述的空气离子清洗装置，其特征在于：该空气离子清洗装置还包括有分别设置于抽真空装置外的高压游离电极，该高压游离电极用于将抽真空装置在抽离图像传感器表面带电的离子时所吸入的空气游离为带电离子。
3.如权利要求1所述的空气离子清洗装置，其特征在于：该气体输入装置输入至平板电极间的混合气体包括有氧气及氩气。
4.如权利要求1所述的空气离子清洗装置，其特征在于：该空气离子清洗装置还包括有固定于支撑部下方的传送装置，该传送装置用于传送该支撑部。
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