[发明专利]表面声波谐振器以及表面声波振荡器有效
| 申请号： | 201310098334.2 | 申请日： | 2010-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN103219966B | 公开（公告）日： | 2017-04-19 |
| 发明（设计）人： | 山中国人 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司11127 | 代理人： | 黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供表面声波谐振器以及表面声波振荡器，其能够实现良好的频率温度特性。表面声波谐振器具有欧拉角为117°≤θ≤142°，41.9°≤|ψ|≤49.57°的石英基板；以及叉指换能器，其由铝或以铝为主体的合金构成，并且在上述石英基板上具有多个电极指，激励产生阻带上端模式的表面声波，俯视时，在上述电极指之间的上述基板上具有电极指间槽，上述表面声波的波长λ、上述电极指间槽的深度G、以及上述电极指的线占有率η满足下式0.01λ≤G≤0.094，而且‑2.5×G/λ+0.675≤η≤‑2.5×G/λ+0.775。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 声波 谐振器 以及 振荡器 | ||
【主权项】：
一种表面声波谐振器，其特征在于，该表面声波谐振器具有：欧拉角为117°≤θ≤142°，41.9°≤|ψ|≤49.57°的石英基板；以及叉指换能器，该叉指换能器的电极膜的材料由铝或以铝为主体的合金构成，并且该叉指换能器在上述石英基板上具有多个电极指，激励产生阻带上端模式的瑞利型的表面声波，俯视时，在上述电极指之间的上述基板上具有电极指间槽，上述表面声波的波长λ、上述电极指间槽的深度G以及上述电极指的线占有率η满足如下关系：0.01λ≤G≤0.094λ，而且，‑2.5×G/λ+0.675≤η≤‑2.5×G/λ+0.775。
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