[发明专利]表面声波谐振器以及表面声波振荡器

权利要求书

1.一种表面声波谐振器，其特征在于，该表面声波谐振器具有：

欧拉角为117°≤θ≤142°，41.9°≤|ψ|≤49.57°的石英基板；以及

叉指换能器，该叉指换能器的电极膜的材料由铝或以铝为主体的合金构成，并且该叉指换能器在上述石英基板上具有多个电极指，激励产生阻带上端模式的瑞利型的表面声波，

俯视时，在上述电极指之间的上述基板上具有电极指间槽，

上述表面声波的波长λ、上述电极指间槽的深度G以及上述电极指的线占有率η满足如下关系：

0.01λ≤G≤0.094λ，

而且，

-2.5×G/λ+0.675≤η≤-2.5×G/λ+0.775。

2.根据权利要求1所述的表面声波谐振器，其特征在于，

上述电极指间槽的深度G满足如下关系：

0.01λ≤G≤0.0695λ。

3.根据权利要求1或2所述的表面声波谐振器，其特征在于，

上述叉指换能器的电极膜厚H满足如下关系：

0<H≤0.035λ。

4.根据权利要求3所述的表面声波谐振器，其特征在于，

上述线占有率η满足如下关系：

η＝-2.533×G/λ-2.269×H/λ+0.785±0.04。

5.根据权利要求3所述的表面声波谐振器，其特征在于，

上述电极指间槽的深度G与上述电极膜厚H之和满足如下关系：

0.0407λ≤G+H。

6.根据权利要求1或2所述的表面声波谐振器，其特征在于，

上述ψ与上述θ满足如下关系：

ψ＝1.191×10^-3×θ³-4.490×10^-1×θ²+5.646×10¹×θ-2.324×10³±1.0。

7.根据权利要求1或2所述的表面声波谐振器，其特征在于，

上述叉指换能器的阻带上端模式的频率为ft2、以在表面声波的传播方向上将上述叉指换能器夹在中间的方式配置的反射器的阻带下端模式的频率fr1、上述反射器的阻带上端模式的频率fr2满足如下关系：

fr1<ft2<fr2。

8.根据权利要求7所述的表面声波谐振器，其特征在于，

在构成上述反射器的导体带之间设有导体带间槽，

上述导体带间槽的深度比上述电极指间槽的深度浅。

9.一种表面声波振荡器，其特征在于，该表面声波振荡器具有：

权利要求1或2所述的表面声波谐振器；以及

用于驱动上述叉指换能器的集成电路。