[发明专利]基板对位标记及其制作方法、基板有效
| 申请号： | 201310075174.X | 申请日： | 2013-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN103199084A | 公开（公告）日： | 2013-07-10 |
| 发明（设计）人： | 田川;郝昭慧 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;H01L21/02;G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 韩国胜 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明属于对位技术领域，公开了一种基板对位标记及其制作方法、基板，通过在基板的不同层结构上制作两个对位标记图案，当其中一个对位标记形成过程中由于镀膜不平，导致对位时无法识别该对位标记时，还可以通过识别另一个对位标记进行对位，提升了对位标记的识别成功率，从而大大降低了基板制作工艺中由于无法识别对位标记导致的次品率。 | ||
| 搜索关键词： | 对位 标记 及其 制作方法 基板 | ||
【主权项】：
一种基板对位标记，其特征在于，其包括位于基板不同层结构上的第一对位标记图案和第二对位标记图案；其中，所述第一对位标记图案和第二对位标记图案的中心重合，且不存在交叠部分。
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