[发明专利]基板对位标记及其制作方法、基板有效
| 申请号： | 201310075174.X | 申请日： | 2013-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN103199084A | 公开（公告）日： | 2013-07-10 |
| 发明（设计）人： | 田川;郝昭慧 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;H01L21/02;G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 韩国胜 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 对位 标记 及其 制作方法 基板 | ||
1.一种基板对位标记，其特征在于，其包括位于基板不同层结构上的第一对位标记图案和第二对位标记图案；其中，所述第一对位标记图案和第二对位标记图案的中心重合，且不存在交叠部分。
2.根据权利要求1所述的基板对位标记，其特征在于，所述第二对位标记图案位于所述第一对位标记图案所在的区域内；
所述第一对位标记图案和第二对位标记图案均为空心结构，或
所述第一对位标记图案为空心结构，所述第二对位标记图案为实心结构。
3.根据权利要求2所述的基板对位标记，其特征在于，所述第一对位标记图案和第二对位标记图案具有相似结构。
4.根据权利要求3所述的基板对位标记，其特征在于，所述第一对位标记图案和第二对位标记图案均为空心的十字结构，或
所述第一对位标记图案为空心的十字结构，所述第二对位标记图案为实心的十字结构。
5.根据权利要求2所述的基板对位标记，其特征在于，所述第一对位标记图案和第二对位标记图案为不相似结构。
6.根据权利要求5所述的基板对位标记，其特征在于，所述第一对位标记图案为空心的十字结构，所述第二对位标记图案为圆环结构，或
所述第一对位标记图案为空心的十字结构，所述第二对位标记图案为实心圆结构。
7.一种基板，其上具有对位标记，其特征在于，所述对位标记采用权利要求1-6任一项所述的基板对位标记。
8.根据权利要求7所述的基板，其特征在于，所述基板上形成有薄膜晶体管；
所述第一对位标记图案由与薄膜晶体管的栅电极相同的金属层制成；所述第二对位标记图案由与薄膜晶体管的源漏电极相同的金属层制成。
9.一种基板对位标记的制作方法，其特征在于，包括形成第一对位标记图案的步骤和形成第二对位标记图案的步骤；其中，所述第一对位标记图案和第二对位标记图案位于基板的不同层结构上，且中心重合，不存在交叠部分。
10.根据权利要求9所述的基板对位标记的制作方法，其特征在于，还包括形成薄膜晶体管的步骤；
形成第一对位标记图案的步骤具体为：
与薄膜晶体管的栅电极同层形成所述第一对位标记图案；
形成第二对位标记图案的步骤具体为：
与薄膜晶体管源漏电极同层形成所述第二对位标记图案。
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