[发明专利]基板检查结果的分析作业支援用信息显示系统及支援方法

摘要

本发明实现能够易于确定不良、过度检测的原因的分析作业。提供一种基板检查结果的分析作业支援用信息显示系统及支援方法。该系统具有：信息输入单元，其输入能够确定检查对象的结构要素、基板以及该基板的生产顺序的形式的信息，并且至少输入能够确定该确认对象的结构要素及基板的形式的信息；图表图像生成单元，其针对作为所述自动外观检查的对象的多个基板，利用由信息输入单元输入的信息，设定第一轴和第二轴来生成二维图表图像（例如彩色图表MP）；显示控制单元，其将由所述图表图像生成单元生成的二维图表图像显示在监视装置上。

主权项

一种基板检查结果的分析作业支援用信息显示系统，用于显示支援用信息，该支援用信息用于支援针对检查部件安装基板的检查结果进行的分析作业，该分析作业支援用信息显示系统的特征在于，具有：信息输入单元，其输入在部件安装基板的生产工序中对基板上的多个结构要素实施的自动外观检查的结果，来作为能够确定检查对象的结构要素、基板以及该基板的生产顺序的形式的信息，并且至少输入利用自动外观检查以外的方法对在自动外观检查中判断为不良的结构要素的好坏进行确认的确认结果，来作为能够确定该确认对象的结构要素及基板的形式的信息；图表图像生成单元，其针对作为所述自动外观检查的对象的多个基板，利用由信息输入单元输入的信息，设定第一轴和第二轴来生成二维图表图像，其中，所述第一轴是排列有基板内的作为自动外观检查的对象的结构要素的识别信息的轴，所述第二轴是按照生产顺序排列有各基板的识别信息的轴，而且，在所述二维图表图像中，按照与各轴的排列对应关联的方式分布有表示结论的至少一种视觉信息，所述结论是指，基于自动外观检查的结果与利用自动外观检查以外的方法进行确认的确认结果之间的关系而求得的结论；显示控制单元，其将由所述图表图像生成单元生成的二维图表图像显示在监视装置上。