[发明专利]基板检查结果的分析作业支援用信息显示系统及支援方法

权利要求书

1.一种基板检查结果的分析作业支援用信息显示系统，用于显示支援用信息，该支援用信息用于支援针对检查部件安装基板的检查结果进行的分析作业，该分析作业支援用信息显示系统的特征在于，

具有：

信息输入单元，其输入在部件安装基板的生产工序中对基板上的多个结构要素实施的自动外观检查的结果，来作为能够确定检查对象的结构要素、基板以及该基板的生产顺序的形式的信息，并且至少输入利用自动外观检查以外的方法对在自动外观检查中判断为不良的结构要素的好坏进行确认的确认结果，来作为能够确定该确认对象的结构要素及基板的形式的信息；

图表图像生成单元，其针对作为所述自动外观检查的对象的多个基板，利用由信息输入单元输入的信息，设定第一轴和第二轴来生成二维图表图像，其中，所述第一轴是排列有基板内的作为自动外观检查的对象的结构要素的识别信息的轴，所述第二轴是按照生产顺序排列有各基板的识别信息的轴，而且，在所述二维图表图像中，按照与各轴的排列对应关联的方式分布有表示结论的至少一种视觉信息，所述结论是指，基于自动外观检查的结果与利用自动外观检查以外的方法进行确认的确认结果之间的关系而求得的结论；

显示控制单元，其将由所述图表图像生成单元生成的二维图表图像显示在监视装置上。

2.如权利要求1所述的基板检查结果的分析作业支援用信息显示系统，其特征在于，

所述图表图像生成单元为了由第一视觉信息或第二视觉信息表示在自动外观检查中判断为不良的结构要素，在由所述第一轴和所述第二轴形成的二维区域内，分别在应该应用各视觉信息的位置配置相应的视觉信息，其中，所述第一视觉信息表示确定结构要素的不良判断的结论，所述第二视觉信息表示取消不良判断并判断为良的结论。

3.如权利要求2所述的基板检查结果的分析作业支援用信息显示系统，其特征在于，

所述图表图像生成单元还为了显示第三视觉信息，在所述二维区域内的应该应用第三视觉信息的位置配置该第三视觉信息，该第三视觉信息表示取消对在所述自动外观检查中判断为良的结构要素进行的该判断并且判断为不良的结论。

4.如权利要求1～3中任一项所述的基板检查结果的分析作业支援用信息显示系统，其特征在于，

所述图表图像生成单元，将色彩作为视觉信息，在由所述第一轴及所述第二轴形成的二维区域内，生成将应该应用各视觉信息的部分着色成表示该视觉信息的色彩而成的二维图表图像。

5.如权利要求1～4中任一项所述的基板检查结果的分析作业支援用信息显示系统，其特征在于，

所述图表图像生成单元，针对第一轴，接受选择操作，基于通过所接受的选择操作进行的选择，来设定第一轴的排列，所述选择操作用于选择将部件设定为结构要素的最小单位还是将部件内的电极设定为结构要素的最小单位。

6.如权利要求5所述的基板检查结果的分析作业支援用信息显示系统，其特征在于，

所述图表图像生成单元，针对基板内的每个单片，集中排列第一轴的结构要素。

7.如权利要求1～6中任一项所述的基板检查结果的分析作业支援用信息显示系统，其特征在于，

所述信息输入单元，还输入在所述自动外观检查中进行计测时得到的每个结构要素的计测数据和作为该计测数据的恰当值而事先规定的数值，

所述图表图像生成单元，针对每组所述第一轴的结构要素和所述第二轴的基板的组合，基于所述信息输入单元针对该组合而输入的计测数据及所述恰当值，设定计测数据视觉信息来生成二维图表图像，所述计测数据视觉信息用于通过色彩或浓淡强度来表示该计测数据相对于所述恰当值而言的高低程度，在所述二维图表图像中，一并分布有该计测数据视觉信息和表示根据所述自动检查的结果与利用其它方法进行确认的确认结果之间的关系而求得的结论的视觉信息。

8.一种基板检查结果的分析作业的支援方法，用于支援针对检查部件安装基板的检查结果进行的分析作业，该支援方法的特征在于，

执行如下的步骤：

第一信息输入步骤，输入在部件安装基板的生产工序中对基板上的多个结构要素实施的自动外观检查的结果，来作为能够确定检查对象的结构要素、基板以及该基板的生产顺序的形式的信息；

第二信息输入步骤，至少输入利用自动外观检查以外的方法对在自动外观检查中判断为不良的结构要素的好坏进行确认的确认结果，来作为能够确定该确认对象的结构要素及基板的形式的信息；

图表图像生成步骤，针对在所述自动外观检查中应用了相同检查基准的多个基板，利用在第一输入步骤及第二信息输入步骤中输入的信息，设定第一轴和第二轴来生成二维图表图像，其中，所述第一轴是排列有基板内的作为自动外观检查的对象的结构要素的识别信息的轴，所述第二轴是按照生产顺序排列有各基板的识别信息的轴，而且，在所述二维图表图像中，按照与各轴的排列对应关联的方式分布有表示结论的至少一种视觉信息，所述结论是指，基于自动外观检查的结果与利用自动外观检查以外的方法进行确认的确认结果之间的关系而求得的结论；

显示步骤，将所述二维图表图像显示在监视装置上。