[发明专利]曝光机掩膜版安装装置有效
| 申请号： | 201310048017.X | 申请日： | 2013-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN103092007A | 公开（公告）日： | 2013-05-08 |
| 发明（设计）人： | 陈润;肖金涛;周振远 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种曝光机掩膜版安装装置，包括：用于固定掩膜版的掩膜架；设置在所述掩膜架下方的气囊，所述气囊用于支撑掩膜架；所述气囊通过供气管路连通气体供给单元；所述供气管路上设置有气动开关阀，当气体供给单元供给中断时，气动开关阀控制供气管路关闭，防止气囊泄气。本发明通过在气囊供气管路上设置气动开关阀，能够在气体供给单元供给中断后，气动开关阀自动切换到不通状态，将气囊中的气体封堵，避免气囊泄气而造成掩膜架掉落，在气体供给单元正常供给后，气动开关阀控制供气管路继续给气囊供应气体，避免了气体供给单元中断所带来的掩膜架掉落危险。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 机掩膜版 安装 装置 | ||
【主权项】：
一种曝光机掩膜版安装装置，包括：用于固定掩膜版的掩膜架；设置在所述掩膜架下方的气囊，所述气囊用于支撑掩膜架；所述气囊通过供气管路连通气体供给单元；其特征在于，所述供气管路上设置有气动开关阀，当气体供给单元供给中断时，气动开关阀控制供气管路关闭，防止气囊泄气。
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