[发明专利]曝光机掩膜版安装装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种曝光机结构，特别是涉及一种安全性高可防止设备中掩膜架脱落的曝光机掩膜版安装装置。

背景技术

掩膜版（Mask）是曝光系统中重要部件，掩膜版在使用时需要通过一定的装置夹持和支撑，如图1所示，掩膜版9安装在曝光设备的掩膜架8上，掩膜架8为一个方形框架结构，掩膜版9位于掩膜架8的中心位置，掩膜版9边缘区域的上部和下部通过吸附或支撑结构来保证掩膜版9的稳定。具体地，在掩膜架8上设置有负压单元，吸附掩膜版9的边缘区域上部；在掩膜版9的边缘区域下部设置有支撑部支撑掩膜版9，在负压单元中断时，通过支撑部来支撑掩膜版9，以确保掩膜版9的可靠固定，支撑部与气缸活塞连接，由气缸活塞伸缩带动支撑部活动。

进一步地，掩膜架8由多个气囊支撑，如图1中标注的第一气囊6和第二气囊7，掩膜版9处于正常状态时，通过与气囊连通的压缩干燥空气（Compressed DryAir,CDA）供给单元向气囊提供气体，气囊支撑在掩膜架8下方，维持掩膜版9的安全状态。气囊分为四组，分别设置在掩膜架8的四条边框结构的下方，CDA供给单元与每组气囊之间的支供气管路上分别设置有减压阀和压力表，如图1中所示的第一支减压阀4和第一支压力表5，在靠近CDA供给单元供气一端的主供气管路上设置有通气阀1、总减压阀2和总压力表3，通过减压阀和压力表来保证供气的安全性，以及确保所提供的压缩气体压力能够满足需求。CDA供给单元除了为气囊提供气体外，还为上述的气缸提供动力源。但是，上述结构存在以下缺陷：一旦CDA供给单元或负压单元供给异常，就会出现气囊泄气、气缸活塞回缩、或负压单元吸附力消失，致使掩膜架下降、掩膜版掉落、损坏，损失十分严重。

发明内容

（一）要解决的技术问题

本发明要解决的技术问题是如何避免掩膜版安装装置中因CDA供给单元和负压单元供给异常所带来的掩膜版损坏问题。

（二）技术方案

为了解决上述技术问题，本发明提供一种曝光机掩膜版安装装置，包括：

用于固定掩膜版的掩膜架；

设置在所述掩膜架下方的气囊，所述气囊用于支撑掩膜架；

所述气囊通过供气管路连通气体供给单元；

所述供气管路上设置有气动开关阀，当气体供给单元供给中断时，气动开关阀控制供气管路关闭，防止气囊泄气。

其中，所述气囊为多个且间隔设置于所述掩膜架下方。

其中，所述供气管路包括控制管路和多个支供气管路，所述支供气管路连通所述气囊，所述控制管路连通所述气体供给单元和支供气管路；

所述气动开关阀设置在所述控制管路上，或者所述支供气管路上，或者同时设置在所述控制管路和支供气管路上。

其中，所述控制管路上还设置有通气阀、总减压阀和总压力表。

其中，所述通气阀、总减压阀和总压力表设置在控制管路上靠近所述气体供给单元的一端；所述总气动开关阀设置在控制管路上靠近气囊的一端。

其中，所述支供气管路上还设置有减压阀和压力表。

其中，所述减压阀和压力表设置在支供气管路上靠近所述气体供给单元的一端；所述支气动开关阀设置在支供气管路上靠近气囊的一端。

其中，所述曝光机掩膜版安装装置还包括支撑部，

所述支撑部设置在所述掩膜版下部边缘，用于支撑掩膜版；

所述支撑部通过连杆与气缸的气缸活塞相连，所述气缸为自锁气缸，所述气缸活塞的伸缩牵引所述支撑部靠近或远离所述掩膜版。

其中，所述气缸由所述气体供给单元提供压缩气体。

其中，所述掩膜架内设置有真空吸盘，所述真空吸盘用于固定掩膜版。

（三）有益效果

上述技术方案所提供的曝光机掩膜版安装装置，通过在气囊供气管路上设置气动开关阀，能够在气体供给单元供给中断后，气动开关阀自动切换到不通状态，将气囊中的气体封堵，避免气囊泄气而造成掩膜架掉落，在气体供给单元正常供给后，气动开关阀控制供气管路继续给气囊供应气体，避免了气体供给单元中断所带来的掩膜架掉落危险，防止了掩膜版的损坏。进一步地，在掩膜版下部边缘设置由自锁气缸控制的支撑部，在负压供给中断时，自锁气缸会将气缸活塞抱死，支撑部不会离开掩膜版，阻止掩膜版下落，自锁气缸由气体供给单元驱动，没有气体的供应，锁定不会解除，在负压和气体供应正常后，锁定会自动解除。

附图说明

图1是现有技术中曝光机掩膜版安装装置的结构示意图；

图2是本发明实施例曝光机掩膜版安装装置的结构示意图；