[发明专利]曝光机掩膜版安装装置

权利要求书

1.一种曝光机掩膜版安装装置，包括：

用于固定掩膜版的掩膜架；

设置在所述掩膜架下方的气囊，所述气囊用于支撑掩膜架；

所述气囊通过供气管路连通气体供给单元；

其特征在于，

所述供气管路上设置有气动开关阀，当气体供给单元供给中断时，气动开关阀控制供气管路关闭，防止气囊泄气。

2.根据权利要求1所述的曝光机掩膜版安装装置，其特征在于，

所述气囊为多个且间隔设置于所述掩膜架下方。

3.根据权利要求2所述的曝光机掩膜版安装装置，其特征在于，

所述供气管路包括控制管路和多个支供气管路，所述支供气管路连通所述气囊，所述控制管路连通所述气体供给单元和支供气管路；

所述气动开关阀设置在所述控制管路上，或者所述支供气管路上，或者同时设置在所述控制管路和支供气管路上。

4.根据权利要求3所述的曝光机掩膜版安装装置，其特征在于，

所述控制管路上还设置有通气阀、总减压阀和总压力表。

5.根据权利要求4所述的曝光机掩膜版安装装置，其特征在于，

所述通气阀、总减压阀和总压力表设置在控制管路上靠近所述气体供给单元的一端；所述总气动开关阀设置在控制管路上靠近气囊的一端。

6.根据权利要求3所述的曝光机掩膜版安装装置，其特征在于，

所述支供气管路上还设置有减压阀和压力表。

7.根据权利要求6所述的曝光机掩膜版安装装置，其特征在于，

所述减压阀和压力表设置在支供气管路上靠近所述气体供给单元的一端；所述支气动开关阀设置在支供气管路上靠近气囊的一端。

8.根据权利要求1所述的曝光机掩膜版安装装置，其特征在于，

所述曝光机掩膜版安装装置还包括支撑部，

所述支撑部设置在所述掩膜版下部边缘，用于支撑掩膜版；

所述支撑部通过连杆与气缸的气缸活塞相连，所述气缸为自锁气缸，所述气缸活塞的伸缩牵引所述支撑部靠近或远离所述掩膜版。

9.根据权利要求8所述的曝光机掩膜版安装装置，其特征在于，

所述气缸由所述气体供给单元提供压缩气体。

10.根据权利要求1-9任一项所述的曝光机掩膜版安装装置，其特征在于，

所述掩膜架内设置有真空吸盘，所述真空吸盘用于固定掩膜版。