[发明专利]一种高效太阳能电池制备方法

摘要

本发明涉及一种高效太阳能电池的制备方法。该方法是在常规太阳能电池的制造过程中的去PSG制程后增加一步氧化制程并搭配调整扩散制程工艺，以在硅片表面形成一层二氧化硅吸杂钝化层并使电池N型层杂质进行二次分布，以减少电池表面和N型层复合，使电池产生较高的Uoc和Isc，提升了电池的转换效率。本发明可以在常规太阳能电池产线上改造完成，迅速实现量产，制备出的电池比常规产线电池具有更高的转换效率，具有巨大的市场价值。

主权项

一种高效太阳能电池制备方法，包括化学清洗及表面织构化处理、扩散制结、边缘刻蚀和去磷硅玻璃、沉积减反射膜、印刷电极、烧结步骤，其特征在于，在去磷硅玻璃制程后对硅片进行氧化，在硅片表面形成一层二氧化硅钝化层。