[发明专利]一种高效太阳能电池制备方法

权利要求书

1.一种高效太阳能电池制备方法，包括化学清洗及表面织构化处理、扩散制结、边缘刻蚀和去磷硅玻璃、沉积减反射膜、印刷电极、烧结步骤，其特征在于，在去磷硅玻璃制程后对硅片进行氧化，在硅片表面形成一层二氧化硅钝化层。

2. 根据权利要求1所述的一种高效太阳能电池制备方法，其特征在于：扩散后N型层方阻为70ohm/□~95ohm/□。

3. 根据权利要求2所述的一种高效太阳能电池制备方法，其特征在于：扩散后N型层方阻为75ohm/□~90ohm/□。

4. 根据权利要求1所述的一种高效太阳能电池制备方法，其特征在于：氧化后N型层方阻为65 ohm/□~85 ohm/□。

5. 根据权利要求1所述的一种高效太阳能电池制备方法，其特征在于：扩散制结工艺步骤为一步沉积，沉积温度为750℃~850℃，沉积气氛为氮气、三氯氧磷和氧气的混合气体，气体流量依次为4slm~15slm、500sccm~2000sccm、100sccm~2000sccm，沉积时间为5min~25min。

6. 根据权利要求1所述的一种高效太阳能电池制备方法，其特征在于：扩散制结工艺步骤分为沉积、推进，沉积温度为750℃~840℃，推进温度为790℃~850℃，沉积气氛为氮气、三氯氧磷和氧气的混合气体，气体流量依次为4slm~15slm、500sccm~2000sccm、100sccm~2000sccm，推进气氛为氮气和氧气混合气体，气体流量依次为4slm~20slm、100sccm~3000sccm，沉积时间为5min~20min，推进时间为1min~15min。

7. 根据权利要求1所述的一种高效太阳能电池的制备方法，其特征在于：扩散制结工艺步骤分为沉积、第一步推进和第二步推进，沉积温度为750℃~830℃，第一步推进温度为790℃~840℃，第二步推进温度为800℃~850℃，沉积气氛为氮气、三氯氧磷和氧气的混合气体，气体流量依次为4slm~15slm、500sccm~2000sccm、100sccm~2000sccm，推进气氛为氮气和氧气混合气体，气体流量依次为4slm~20slm、100sccm~3000sccm，沉积时间为5min~15min，第一步推进时间为1min~10min，第二步推进时间为1min~10min。

8. 根据权利要求1所述的一种高效太阳能电池的制备方法，其特征在于：氧化制程工艺温度800℃~870℃,氧化气氛为氮气和氧气混合气体，氮气流量为3slm~20slm，氧气流量为100sccm~2000sccm，氧化时间为1min~20min。

9. 根据权利要求1所述的一种高效太阳能电池的制备方法，其特征在于：氧化制程工艺温度800℃~850℃,氧化气氛为氮气和氧气混合气体，氮气流量为5slm~10slm，氧气流量为200sccm~1000sccm，氧化时间为3min~10min。