[发明专利]一种大尺寸蓝宝石晶体生长方法有效
申请号: | 201310026515.4 | 申请日: | 2013-01-24 |
公开(公告)号: | CN103060913A | 公开(公告)日: | 2013-04-24 |
发明(设计)人: | 王勤峰;段金柱;马劲松;樊志远;蔡建华;徐秋峰;段斌斌 | 申请(专利权)人: | 天通控股股份有限公司 |
主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B35/00;C30B17/00 |
代理公司: | 浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100 | 代理人: | 吴关炳 |
地址: | 314412 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及一种大尺寸蓝宝石晶体生长方法,工艺过程包括装料、热场组装、加热融化、引晶和生长、切离和降温,采用以重量变化率控制的功率调节系统,通过检测籽晶重量变化来控制加热系统输出功率,实现引晶和生长过程自动化。以重量变化率控制的功率调节系统,采用精度≤1g的称重系统并具有100W以下精确功率调节能力。本发明能生长出约为φ250×300的蓝宝石晶体,低位错密度,透光率高,适用于白光LED衬底的要求;引晶和生长过程为自动化控制过程,不需要人为干预。 | ||
搜索关键词: | 一种 尺寸 蓝宝石 晶体生长 方法 | ||
【主权项】:
一种大尺寸蓝宝石晶体生长方法,工艺过程包括装料、热场组装、加热融化、引晶和生长、切离和降温,其特征在于,采用以重量变化率控制的功率调节系统,通过检测籽晶重量变化来控制加热系统输出功率,实现引晶和生长过程自动化。
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