[发明专利]一种大尺寸蓝宝石晶体生长方法

权利要求书

1.一种大尺寸蓝宝石晶体生长方法，工艺过程包括装料、热场组装、加热融化、引晶和生长、切离和降温，其特征在于，采用以重量变化率控制的功率调节系统，通过检测籽晶重量变化来控制加热系统输出功率，实现引晶和生长过程自动化。

2.如权利要求1所述的大尺寸蓝宝石晶体生长方法，其特征在于：所述的以重量变化率控制的功率调节系统，采用精度≤1g的称重系统并具有100W以下精确功率调节能力。

3.如权利要求1或2所述的大尺寸蓝宝石晶体生长方法，其特征在于：所述的引晶过程依次包括如下步骤：

⑴ 在熔液温度稳定达到5小时以上，以1~5mm/min的速度下降籽晶，在籽晶碰触液面后，所述称重系统进行“置零”操作，然后每10~30分钟检测一次籽晶重量增加量，并按照特定算法控制加热系统输出功率以100~500W/h的变化率增加，直至籽晶重量不再增加；

⑵ 保持加热系统输出功率不变，由于热惯性的存在，熔液表面温度将缓慢增加，籽晶重量将缓慢下降，所述称重系统检测籽晶重量，直至籽晶重量从新回到“零”位；

⑶ 控制加热系统输出功率以100~500W/h的变化率减小，同时籽晶以1~5mm/h的速度下降，籽晶重量将缓慢下降，所述称重系统检测籽晶重量，直至籽晶重量由下降变为增加； 

⑷ 控制籽晶以1~5mm/h的速度提升，所述称重系统检测籽晶重量变化率，功率调节系统按照重量变化率调整加热系统输出功率，控制重量增加在30~50g/h，提升籽晶距离为30~50mm；

⑸ 控制籽晶以0.1~1mm/h的速度提升，所述称重系统检测籽晶重量变化率，功率调节系统按照重量变化率调整加热系统输出功率，控制重量以150~450g/mm增加，直到晶体重量达到预定目标。