[发明专利]薄膜晶体管、数组基板及显示装置有效
申请号: | 201310008680.7 | 申请日: | 2013-01-04 |
公开(公告)号: | CN103681871A | 公开(公告)日: | 2014-03-26 |
发明(设计)人: | 叶佳俊;蔡学宏;林柏辛 | 申请(专利权)人: | 元太科技工业股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/786 | 分类号: | H01L29/786;H01L27/12 |
代理公司: | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人: | 寿宁;张华辉 |
地址: | 中国台湾新竹*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明是有关于一种薄膜晶体管,适于设置于基板上。所述薄膜晶体管包括栅极层、绝缘层、载流子传输层、保护层、第一源/漏极层以及第二源/漏极层。栅极层配置于基板上。绝缘层配置于栅极层上。载流子传输层配置于绝缘层上。载流子传输层包括主动层以及迁移率增进层。保护层配置于主动层上。第一源/漏极层配置于主动层上。第二源/漏极层配置于主动层上。迁移率增进层包括第一元素。主动层包括第二元素。第一元素的电负度小于第二元素的电负度,以提高主动层的载流子迁移率。 | ||
搜索关键词: | 薄膜晶体管 数组 显示装置 | ||
【主权项】:
一种薄膜晶体管,适于设置于基板上,其特征在于,其包括:栅极层,配置于该基板上;绝缘层,配置于该栅极层上;载流子传输层,配置于该绝缘层上,并且包括主动层以及迁移率增进层;保护层,配置于该主动层上;第一源/漏极层,配置于该主动层上,并且连接该主动层;以及第二源/漏极层,配置于该主动层上,并且连接该主动层。
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