[发明专利]用于检测集成电路的劣化的监视系统有效
| 申请号： | 201310006802.9 | 申请日： | 2013-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN103913694B | 公开（公告）日： | 2018-03-27 |
| 发明（设计）人： | 张致琛;王传政;张奇林 | 申请（专利权）人： | 恩智浦美国有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人： | 刘倜 |
| 地址： | 美国得*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及用于检测半导体集成电路的应力劣化的监视系统，其具有放大器电路和劣化测试晶体管。提供了若干复用器，所述复用器具有耦接到劣化测试晶体管的相应电极的输出端。每一个所述复用器具有耦接到监视节点中的一个监视节点和放大器电路的相应节点的输入端。在操作中，所述复用器选择性地将劣化测试晶体管插入到所述集成电路或所述放大器电路中，从而使得在被插入到所述集成电路中时所述劣化测试晶体管经受所述集成电路中的应力劣化电压。在劣化测试晶体管被插入到所述放大器电路中时，产生表示所述集成电路的应力应力劣化的输出信号。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检测 集成电路 监视 系统 | ||
【主权项】：
一种用于检测半导体电路的应力劣化的系统，该系统包括:主半导体电路，其具有多个监视节点；放大器电路，其具有至少一个放大器输出端子和至少一个劣化测试晶体管；以及多个复用器，每一复用器具有耦接到所述劣化测试晶体管的相应电极的输出端，并且每一所述复用器具有耦接到所述监视节点中的一个监视节点以及所述放大器电路的相应节点的输入端，其中在操作中，所述复用器选择性地将所述劣化测试晶体管插入到所述主半导体电路或所述放大器电路中，从而使得在被插入到所述主半导体电路中时所述劣化测试晶体管经受所述主半导体电路中的应力劣化电压，以及在被插入到所述放大器电路中时所述输出端子处的输出信号表示所述主半导体电路的应力劣化，其中所述放大器电路包括差分放大器电路，并且所述劣化测试晶体管形成所述差分放大器的第一分支的一部分，并且所述差分放大器的第二分支的一部分由参考晶体管形成。
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