[发明专利]线电极放电加工装置、线电极放电加工方法、薄板制造方法、以及半导体晶片制造方法有效
| 申请号： | 201280067416.4 | 申请日： | 2012-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN104053520A | 公开（公告）日： | 2014-09-17 |
| 发明（设计）人： | 糸数笃;三宅英孝 | 申请（专利权）人： | 三菱电机株式会社 |
| 主分类号： | B23H7/02 | 分类号： | B23H7/02 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 何立波;张天舒 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的在于防止在端面加工中由加工电流从不产生放电的切断线电极部流入而导致的线电极的断裂、加工面精度的降低，在本发明的线电极放电加工装置中具有控制部件，该控制部件基于被加工物的端面和与该端面非平行的包含多个切断线电极的面所成的角度、切断线电极的并列间隔、以及切断线电极和被加工物的相对距离，选择由脉冲电压产生单元施加脉冲电压的切断线电极，驱动单元构成为，在不与包含多个切断线电极的面垂直的方向驱动被加工物，通过施加脉冲电压对被加工物进行放电加工从而进行切断。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 放电 加工 装置 方法 薄板 制造 以及 半导体 晶片 | ||
【主权项】：
一种线电极放电加工装置，其特征在于，具有：切断线电极部，其具有通过在多个导辊上卷绕线电极而与被加工物相对地并列的多个切断线电极；驱动单元，其对所述被加工物和所述切断线电极部的相对距离进行控制；以及脉冲电压产生单元，其对所述被加工物和多个所述切断线电极之间施加脉冲电压，在该线电极放电加工装置中，通过以相对于包含所述切断线电极的面设置倾斜角的方式设置所述被加工物，对切断线电极和被加工物的相对距离进行控制，从而进行加工。
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