[发明专利]带电粒子线装置以及倾斜观察图像显示方法

摘要

本发明提供一种带电粒子线装置以及倾斜观察图像显示方法。本发明的带电粒子线装置(100)的控制装置(50)，在每次使一次电子线(4)对样品(15)的表面进行1行份的扫描线的扫描时，经由倾斜线圈(11、12)使一次带子线(4)的照射轴左倾斜、无倾斜、或者右倾斜。并且，在变更了该照射轴时，经由焦点调整线圈(14)按照照射轴的倾斜状态来调整一次电子线(4)的焦点位置，获取1行份的扫描线的样品(15)的表面的左倾斜观察图像、无倾斜观察图像、或者右倾斜观察图像，将到此时为止获取到的与扫描线相关的左倾斜观察图像、无倾斜观察图像、和右倾斜观察图像同时显示在相同的显示装置(31)中。由此，能够大致同时获取并大致同时显示对焦了的无倾斜观察图像和对焦了的倾斜观察图像。

主权项

一种带电粒子线装置，其特征在于，具备：带电粒子源；多个电子透镜，其使从上述带电粒子源射出的一次带电粒子线会聚；带电粒子线扫描控制部件，其对上述一次带电粒子线进行偏转控制，使得在会聚后的上述一次带电粒子线照射至样品的表面时，该一次带电粒子线的照射点对上述样品的表面上进行二维扫描；照射轴倾斜部件，其使上述一次带电粒子线照射至上述样品时的上述一次带电粒子线的照射轴倾斜；焦点位置调整部件，其将通过上述照射轴倾斜部件使上述一次带电粒子线的照射轴倾斜的情况下的焦点位置、和未使上述一次带电粒子线的照射轴倾斜的情况下的焦点位置调整为相同的位置；带电粒子检测器，其在上述一次带电粒子线照射至上述样品时，检测从上述样品射出的带电粒子；和控制装置，其基于由上述带电粒子检测器检测到的信号，生成上述样品的表面的观察图像，上述控制装置，在每次经由上述带电粒子线扫描控制部件使上述一次带电粒子线对上述样品的表面进行1行份的扫描线的扫描时，经由上述照射轴倾斜部件使上述一次带电粒子线的照射轴左倾斜、无倾斜、或者右倾斜，并且在变更了上述照射轴时，经由上述焦点位置调整部件按照上述照射轴的倾斜状态来调整上述一次带电粒子线的焦点位置，获取上述1行份的扫描线的上述样品的表面的左倾斜观察图像、无倾斜观察图像、或者右倾斜观察图像，将到此时为止获取到的与扫描线相关的上述左倾斜观察图像、上述无倾斜观察图像、和上述右倾斜观察图像同时显示在相同的显示装置中。