[发明专利]带电粒子线装置以及倾斜观察图像显示方法

说明书

技术领域

本发明涉及对样品照射倾斜的一次带电粒子线来获取并显示倾斜观察图像的带电粒子线装置以及倾斜观察图像显示方法。

背景技术

以往，在扫描电子显微镜所代表的带电粒子线装置中，例如，使样品台向左右倾斜，获取左眼用的倾斜图像和右眼用的倾斜图像，基于交叉法、平行法、使用了红绿眼镜的彩色立体图法等来显示3D(立体)观察图像。此外，当获取成为3D观察图像的来源的左右的倾斜观察图像时，取代使样品台倾斜的机构性的控制，而通过电磁控制来使入射至样品的带电粒子线倾斜。

例如，在专利文献1、2中，记载了使带电粒子线倾斜来获取角度不同的观察图像的技术。即，带电粒子线被控制为入射至物镜的轴外，利用物镜的会聚作用而使其倾斜。

此外，在专利文献3、4中，公开了在使带电粒子线倾斜的情况下用于适当调整光学系统的调整部件。例如，在专利文献3中，获取无倾斜观察图像(Top-down像)，对其模板化，在之后的倾斜观察图像的获取时，通过将该倾斜观察图像与模板进行模式匹配，来进行视野偏差或像散校正、焦点校正等操作。此外，在专利文献4中，公开有以下技术，按解析方法来分解在多个透镜的组合和物镜的轴外入射时的带电粒子线的举动，在使带电粒子线倾斜入射至样品上的情况下产生的像差由光学系统构成要素被综合地取消。

进一步地，在专利文献5中，公开了以下技术：通过按电磁方式以1行作为单位来控制带电粒子线的倾斜，从而同时获取左右的倾斜图像，并将获取到的左右的倾斜图像显示在3D显示装置上进行3D观察。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：JP实开昭55-48610号公报

专利文献2：JP特开平2-33843号公报

专利文献3：JP特开2005-310602号公报

专利文献4：JP特开200612664号公报

专利文献5：JP特开20109907号公报

发明的概要

发明要解决的课题

在现有的扫描电子显微镜等中，一般在显示装置中设置1个或者2个观察图像的显示区域。由此，以往，在显示区域为2个的情况下，在该2个显示区域中，或者显示左或右倾斜观察图像的每一个，或者显示将左右中的一方的倾斜观察图像与左或右的倾斜观察图像合成后得到的3D观察图像(例如，彩色立体图像)。此外，当然，在显示区域为1个的情况下，仅仅显示左倾斜观察图像、右倾斜观察图像、或者左或右的倾斜观察图像的3D观察图像之一。

但是，在专利文献1-5等中，针对如何将左或右的倾斜观察图像、和左或右的倾斜观察图像的3D观察图像组合起来进行显示，并没有详细记载。并且，不限于专利文献1-5，在现有技术中，至少不能同时获取左或右的倾斜观察图像和无倾斜观察图像并同时对其进行显示。

一般，先获取并显示无倾斜观察图像，之后，显示左或右的倾斜观察图像和该3D观察图像较为容易。但是，以往，如果同时获取并同时显示无倾斜观察图像和左或右的倾斜观察图像，则由于两者焦点位置不同，存在不能同时获取对两者对焦的观察图像这样的问题。另外，这里所说的“同时”是指，进行观察的人的感觉上“同时”的意思，例如，1秒左右的时间差异被视为“同时”。

发明内容

鉴于这些现有技术的问题，本发明的目的在于，提供一种能够大致同时获取并同时显示对焦的无倾斜观察图像和对焦的倾斜观察图像的带电粒子线装置以及倾斜观察图像显示方法。

用于解决课题的手段

本发明涉及的带电粒子线装置具备：带电粒子源；多个电子透镜，其使从上述带电粒子源射出的一次带电粒子线会聚；带电粒子线扫描控制部件，其对上述一次带电粒子线进行偏转控制，使得在上述会聚后的一次带电粒子线照射至样品的表面时，该照射点对上述样品的表面上进行二维扫描；照射轴倾斜部件，其使上述一次带电粒子线照射至上述样品时的上述一次带电粒子线的照射轴倾斜；焦点位置调整部件，其将通过上述照射轴倾斜部件使上述一次带电粒子线的照射轴倾斜的情况下的焦点位置、和未使上述一次带电粒子线的照射轴倾斜的情况下的焦点位置调整为相同的位置；带电粒子检测器，其在上述一次带电粒子线照射至上述样品时，检测从上述样品射出的带电粒子；和控制装置，其基于由上述带电粒子检测器检测到的信号，生成上述样品的表面的观察图像。