[发明专利]带电粒子线装置以及倾斜观察图像显示方法

权利要求书

1.一种带电粒子线装置，其特征在于，具备：

带电粒子源；

多个电子透镜，其使从上述带电粒子源射出的一次带电粒子线会聚；

带电粒子线扫描控制部件，其对上述一次带电粒子线进行偏转控制，使得在会聚后的上述一次带电粒子线照射至样品的表面时，该一次带电粒子线的照射点对上述样品的表面上进行二维扫描；

照射轴倾斜部件，其使上述一次带电粒子线照射至上述样品时的上述一次带电粒子线的照射轴倾斜；

焦点位置调整部件，其将通过上述照射轴倾斜部件使上述一次带电粒子线的照射轴倾斜的情况下的焦点位置、和未使上述一次带电粒子线的照射轴倾斜的情况下的焦点位置调整为相同的位置；

带电粒子检测器，其在上述一次带电粒子线照射至上述样品时，检测从上述样品射出的带电粒子；和

控制装置，其基于由上述带电粒子检测器检测到的信号，生成上述样品的表面的观察图像，

上述控制装置，

在每次经由上述带电粒子线扫描控制部件使上述一次带电粒子线对上述样品的表面进行1行份的扫描线的扫描时，经由上述照射轴倾斜部件使上述一次带电粒子线的照射轴左倾斜、无倾斜、或者右倾斜，并且在变更了上述照射轴时，经由上述焦点位置调整部件按照上述照射轴的倾斜状态来调整上述一次带电粒子线的焦点位置，获取上述1行份的扫描线的上述样品的表面的左倾斜观察图像、无倾斜观察图像、或者右倾斜观察图像，将到此时为止获取到的与扫描线相关的上述左倾斜观察图像、上述无倾斜观察图像、和上述右倾斜观察图像同时显示在相同的显示装置中。

2.根据权利要求1所述的带电粒子线装置，其特征在于，

上述控制装置，

经由上述一次带电粒子线扫描控制部件控制使得对上述样品的表面的相同的1行扫描线进行3次扫描，在该3次扫描的每一次扫描中，依次使上述一次带电粒子线的照射轴左倾斜、无倾斜、或者右倾斜。

3.根据权利要求1所述的带电粒子线装置，其特征在于，

上述控制装置，进一步地，

根据上述左倾斜观察图像和上述右倾斜观察图像生成3D观察图像，将所生成的该3D观察图像、上述左倾斜观察图像、上述右倾斜观察图像、和上述无倾斜观察图像同时显示在相同的显示装置中。

4.根据权利要求1所述的带电粒子线装置，其特征在于，

上述焦点位置调整部件，由不具有磁性体的金属芯的线圈构成。

5.一种带电粒子线装置，其特征在于，具备：

带电粒子源；

多个电子透镜，其使从上述带电粒子源射出的一次带电粒子线会聚；

带电粒子线扫描控制部件，其对上述一次带电粒子线进行偏转控制，使得在会聚后的上述一次带电粒子线照射至样品的表面时，该一次带电粒子线的照射点对上述样品的表面上进行二维扫描；

照射轴倾斜部件，其使上述一次带电粒子线照射至上述样品时的上述一次带电粒子线的照射轴倾斜；

焦点位置调整部件，其将通过上述照射轴倾斜部件使上述一次带电粒子线的照射轴倾斜的情况下的焦点位置、和未使上述一次带电粒子线的照射轴倾斜的情况下的焦点位置调整为相同的位置；

带电粒子检测器，其在上述一次带电粒子线照射至上述样品时，检测从上述样品射出的带电粒子；和

控制装置，其基于由上述带电粒子检测器检测到的信号，生成上述样品的表面的观察图像，

上述控制装置，进一步地，

在每次经由上述带电粒子线扫描控制部件使上述一次带电粒子线对上述样品的表面进行1帧份的扫描线的扫描时，经由上述照射轴倾斜部件使上述一次带电粒子线的照射轴左倾斜、无倾斜、或者右倾斜，并且在变更了上述照射轴时，经由上述焦点位置调整部件按照上述照射轴的倾斜状态来调整上述一次带电粒子线的焦点位置，获取上述1帧份的扫描线的上述样品的表面的左倾斜观察图像、无倾斜观察图像、或者右倾斜观察图像，将到此时为止获取到的与帧相关的上述左倾斜观察图像、上述无倾斜观察图像、和上述右倾斜观察图像同时显示在相同的显示装置中。