[发明专利]三氯硅烷的纯化

摘要

本发明公开了用于从包含三氯硅烷的组合物中除去含硼污染物以形成包含三氯硅烷的纯化产物的系统及方法。具有不同入口及出口位置的纯化塔及装置彼此流体相连以移除TCS中存在的不同类型的硼物质及其它杂质。

主权项

1.一种从包含三氯硅烷的组合物中除去至少一种含硼污染物以形成包含三氯硅烷的纯化产物的方法，该方法包括以下步骤：i)从该组合物中部分除去含硼污染物以形成包含三氯硅烷的部分纯化组合物；及ii)透过侧面入口将该部分纯化组合物馈入纯化塔及从该纯化塔，该纯化塔是蒸馏塔；a)透过顶部出口，移除顶部含硼污染物流，b)透过底部出口，移除底部含硼污染物流，及c)透过侧面出口，移除包含三氯硅烷的纯化组合物；其中，该纯化塔的侧面出口位于该纯化塔的侧面入口的上方，或该纯化塔的侧面出口位于该纯化塔的侧面入口的下方，其中，该含硼污染物包含BHCl2及B2H6中的至少一种及BCl3。