[发明专利]基板作业装置在审
| 申请号： | 201280059273.2 | 申请日： | 2012-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN103975655A | 公开（公告）日： | 2014-08-06 |
| 发明（设计）人： | 藤本猛志 | 申请（专利权）人： | 雅马哈发动机株式会社 |
| 主分类号： | H05K3/34 | 分类号： | H05K3/34;H05K13/04 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 穆德骏;谢丽娜 |
| 地址： | 日本静冈*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种基板作业装置，包括：基台；第一基板作业台及第二基板作业台，能够移动地被支撑在所述基台上；标识部，设置在基台侧部件和第一、第二基板作业台中的一方侧，所述基台侧部件包括所述基台或固定在该基台上的部件；摄像部，设置在基台侧部件和第一、第二基板作业台中的与所述一方侧不同的另一方侧，拍摄所述标识部；控制部，使摄像部拍摄标识部，根据所拍摄的图像数据来获取各基板作业台的位置信息，并且，根据该位置信息，判断各基板作业台的移动时该各基板作业台是否相互干涉。 | ||
| 搜索关键词： | 作业 装置 | ||
【主权项】：
一种基板作业装置，是对基板进行指定作业的装置，其特征在于包括：基台；第一基板作业台及第二基板作业台，以能够在特定方向上相互接近的方式，能够移动地被支撑在所述基台上；标识部，设置在基台侧部件和所述第一、第二基板作业台中的一方侧，所述基台侧部件包括所述基台或固定在该基台上的部件；摄像部，设置在所述基台侧部件和所述第一、第二基板作业台中的与所述一方侧不同的另一方侧，拍摄所述标识部；控制部，使所述摄像部拍摄所述标识部，根据所拍摄的图像数据和所述标识部及所述摄像部中设置于所述基台侧部件者的位置数据来获取所述各基板作业台的位置信息，并且，根据该位置信息，判断所述各基板作业台的移动时该各基板作业台是否相互干涉。
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