[发明专利]基板作业装置

权利要求书

1.一种基板作业装置，是对基板进行指定作业的装置，其特征在于包括：

基台；

第一基板作业台及第二基板作业台，以能够在特定方向上相互接近的方式，能够移动地被支撑在所述基台上；

标识部，设置在基台侧部件和所述第一、第二基板作业台中的一方侧，所述基台侧部件包括所述基台或固定在该基台上的部件；

摄像部，设置在所述基台侧部件和所述第一、第二基板作业台中的与所述一方侧不同的另一方侧，拍摄所述标识部；

控制部，使所述摄像部拍摄所述标识部，根据所拍摄的图像数据和所述标识部及所述摄像部中设置于所述基台侧部件者的位置数据来获取所述各基板作业台的位置信息，并且，根据该位置信息，判断所述各基板作业台的移动时该各基板作业台是否相互干涉。

2.根据权利要求1所述的基板作业装置，其特征在于：

所述位置信息是所述第一基板作业台及所述第二基板作业台的位置坐标。

3.根据权利要求2所述的基板作业装置，其特征在于：

所述控制部根据所述第一基板作业台及所述第二基板作业台的所述位置坐标、和能够使各基板作业台在所述特定方向上相互接近而不会发生干涉的两基板作业台的最小间隔，算出使所述各基板作业台各自从指定的原点位置接近至达到所述最小间隔的位置时的该各基板作业台的移动距离之和亦即干涉基准距离，并且，比较所述两基板作业台的移动目标坐标或当前坐标与所述干涉基准距离，以判断所述基板作业台是否相互干涉。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的基板作业装置，其特征在于：

所述控制部在所述指定作业中进行使所述摄像部在指定的时期拍摄所述标识部以反复获取所述位置信息的控制。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的基板作业装置，其特征在于：

所述摄像部是基板识别摄像机，该基板识别摄像机固定地设置于所述基台侧部件，而且用于识别由所述第一基板作业台及所述第二基板作业台所保持的所述基板，

所述标识部包含第一标识部和第二标识部，所述第一标识部设置在所述第一基板作业台中的能够由所述基板识别摄像机拍摄的位置处，所述第二标识部设置在所述第二基板作业台中的能够由所述基板识别摄像机拍摄的位置处。

6.根据权利要求5所述的基板作业装置，其特征在于：

所述基板识别摄像机包含与所述第一基板作业台对应的第一基板识别摄像机及与所述第二基板作业台对应的第二基板识别摄像机，

所述控制部使所述第一基板识别摄像机拍摄所述第一基板作业台的所述第一标识部，并且使所述第二基板识别摄像机拍摄所述第二基板作业台的所述第二标识部，根据所述各基板作业台的所述位置信息和所述特定方向上的两基板识别摄像机的间隔，判断所述各基板作业台是否相互干涉。

7.根据权利要求1至4中任一项所述的基板作业装置，其特征在于还包括：

印刷作业部，将焊料经由模板印刷给由所述第一基板作业台及所述第二基板作业台所保持的所述基板；其中，

所述摄像部是为了识别所述模板而设置在所述第一基板作业台上的第一模板识别摄像机及设置在所述第二基板作业台上的第二模板识别摄像机，

所述标识部设置在所述基台侧部件中的能够由所述两模板识别摄像机拍摄的位置处。

8.根据权利要求7所述的基板作业装置，其特征在于：

所述标识部包含第一标识部和第二标识部，所述第一标识部设置在能够由所述第一模板识别摄像机拍摄的位置处，所述第二标识部设置在能够由所述第二模板识别摄像机拍摄的位置处，

所述控制部根据由所述第一模板识别摄像机拍摄所述第一标识部以及由所述第二模板识别摄像机拍摄所述第二标识部而获得的所述各基板作业台的所述位置信息、和所述特定方向上的所述两标识部的间隔，判断所述各基板作业台是否相互干涉。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的基板作业装置，其特征在于：

所述标识部是位置识别用标记。