[发明专利]临界尺寸的测量

摘要

一种用于在衬底上进行多波长、多方位、多入射角读取的光谱仪器，所述仪器具有：宽带光源，其用于产生照射光束；物镜，其用于同时以多个方位角及多个入射角将所述照射引导到所述衬底上，借此产生反射光束；孔口板，其具有形成于其中的照射孔口及多个收集孔口，用于选择性地使所述反射光束的具有方位角与入射角的所要离散组合的部分通过；检测器，其用于接收方位角与入射角的所述离散组合并产生读数；及处理器，其用于解释所述读数。

主权项

一种用于在衬底上进行多波长、多方位、多入射角读取的光谱仪器，其包括：宽带光源，其用于产生沿复合光束路径的照射光束，物镜，其用于同时以多个方位角及多个入射角将所述照射光束引导到所述衬底上，借此产生沿所述复合光束路径的反射光束，孔口板，其具有形成于其中的照射孔口及多个收集孔口，用于选择性地使所述照射光束的第一部分及所述反射光束的具有方位角与入射角的所要离散组合的第二部分通过，其中所述第一部分和所述第二部分是所述复合光束路径上分离的部分，检测器，其用于接收方位角与入射角的所述离散组合并产生读数，及处理器，其用于解释所述读数。