[发明专利]临界尺寸的测量

权利要求书

1.一种用于在衬底上进行多波长、多方位、多入射角读取的光谱仪器，其包括：

宽带光源，其用于产生照射光束，

物镜，其用于同时以多个方位角及多个入射角将所述照射光束引导到所述衬底上，借此产生反射光束，

孔口板，其具有形成于其中的照射孔口及多个收集孔口，用于选择性地使所述反射光束的具有方位角与入射角的所要离散组合的部分通过，

检测器，其用于接收方位角与入射角的所述离散组合并产生读数，及

处理器，其用于解释所述读数。

2.根据权利要求1所述的光谱仪器，其中所述孔口板包括可个别或组合使用以选择多个方位角与多个入射角的不同离散组合的一组孔口板。

3.根据权利要求1所述的光谱仪器，其中所述孔口板可以电子方式配置以产生多个方位角与多个入射角的不同离散组合。

4.根据权利要求1所述的光谱仪器，其中所述检测器同时接收方位角与入射角的所述离散组合。

5.根据权利要求1所述的光谱仪器，其中所述检测器连续地接收方位角与入射角的所述离散组合。

6.根据权利要求1所述的光谱仪器，其中所述光谱仪器为反射计。

7.根据权利要求1所述的光谱仪器，其中所述光谱仪器为椭圆计。

8.根据权利要求1所述的光谱仪器，其中所述物镜可调整以便以所有方位角及实质上所有入射角引导所述照射光束。