[发明专利]阻隔性蒸镀膜有效
| 申请号： | 201280016733.3 | 申请日： | 2012-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN103459138A | 公开（公告）日： | 2013-12-18 |
| 发明（设计）人： | 木村繁人;蜂须贺亨;山内康嗣;吉田重信 | 申请（专利权）人： | 三菱树脂株式会社 |
| 主分类号： | B32B9/00 | 分类号： | B32B9/00;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 张平元 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种阻隔性蒸镀膜，其具有均匀的膜质，且具有膜密度致密且初期的阻隔性高的蒸镀层。所述阻隔性蒸镀膜的特征在于，在基体材料的至少一面具有至少一层下述的蒸镀层(a)。蒸镀层(a)：是由金属氧化物构成的厚度10～500nm的蒸镀层，利用X射线光电子能谱(ESCA)沿深度方向分析该蒸镀层时，氧(O)和金属的元素比[氧(O)/金属]的平均值为1.20以上且1.90以下，且[氧(O)/金属]的最大值和最小值之差为0.35以下。 | ||
| 搜索关键词： | 阻隔 镀膜 | ||
【主权项】：
一种阻隔性蒸镀膜，其中，在基体材料的至少一面具有至少一层下述蒸镀层(a)，蒸镀层(a)：是由金属氧化物形成的厚度10～500nm的蒸镀层，在通过X射线光电子能谱(ESCA)沿深度方向对该蒸镀层进行分析时，氧(O)与金属的元素比[氧(O)/金属]的平均值为1.20以上且1.90以下，并且[氧(O)/金属]的最大值和最小值之差为0.35以下。
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