[发明专利]延长使用期限的纹理腔室部件与制造纹理腔室部件的方法在审

专利信息
申请号: 201280013111.5 申请日: 2012-04-10
公开(公告)号: CN103430280A 公开(公告)日: 2013-12-04
发明(设计)人: 迈克尔·杰克逊;温德尔·G·博伊德;苏忠凯;吕鸣烨·威廉;吉富吾一;约瑟夫·F·萨默斯 申请(专利权)人: 应用材料公司
主分类号: H01L21/02 分类号: H01L21/02
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人: 徐金国;赵静
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 发明提供了一种处理腔室部件及制造所述处理腔室部件的方法。处理腔室部件以本文所述的方式制造且所述处理腔室部件包括在腔室部件的表面上产生至少巨观纹理。巨观纹理由多个设计特征限定,所述多个设计特征在腔室部件的表面上以预限定取向布置。在一些实施例中,设计特征防止形成在特征之间限定的视线表面,以增强沉积在腔室部件上的膜的保持。
搜索关键词: 延长 使用 期限 纹理 部件 制造 方法
【主权项】:
一种具有经图案化以增强沉积膜的保持的表面的制品,所述制品包含:处理腔室部件,所述处理腔室部件具有由设计特征形成的巨观纹理表面,所述设计特征经布置以防止横跨纹理表面形成视线表面。
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