[发明专利]静电夹具设备和光刻设备有效
| 申请号： | 201280011710.3 | 申请日： | 2012-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN103415811A | 公开（公告）日： | 2013-11-27 |
| 发明（设计）人： | V·班尼恩;E·鲁普斯特拉;T·凯蒂;J·阿克曼斯;L·斯卡克卡巴拉兹;C·L·瓦伦汀 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张启程 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明提供一种静电夹具设备(500)，构造用以支撑光刻设备的图案形成装置(505)，所述静电夹具设备包括支撑结构，所述图案形成装置被抵靠所述支撑结构支撑；用于在支撑结构和图案形成装置之间提供夹持力的夹持电极(525)；和电容传感器阵列(660)，能够操作用以测量所述图案形成装置的形状。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 夹具 设备 光刻 | ||
【主权项】：
一种静电夹具设备，其构造用以支撑光刻设备的图案形成装置，所述静电夹具设备包括：支撑结构，所述图案形成装置被抵靠所述支撑结构支撑；夹持电极，用于在支撑结构和图案形成装置之间提供夹持力；和电容传感器阵列，其能够操作用以测量所述图案形成装置的形状。
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