[实用新型]防着板、防着板-靶材组件及等离子体溅射设备有效
| 申请号： | 201220632542.7 | 申请日： | 2012-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN203007392U | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 赵欣凯;刘勃;李胜斌;李正勋;金相起;车奉周;刘占伟 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 罗建民;邓伯英 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种防着板、防着板-靶材组件及等离子体溅射设备，属于等离子技术领域，其可解决现有的防着板和防着板-靶材组件的导致非侵蚀区域较大，防着板需要频繁更换的问题。本实用新型的防着板包括用于遮挡靶材上表面边缘的突出部。本实用新型的防着板能够防止ITO粉尘回落到靶材上；同时，防着板能减少靶材的非侵蚀区域，延长了防着板的更换周期，从而减少镀膜工艺中形成颗粒和缺陷，防止镀膜的良品率下降。 | ||
| 搜索关键词： | 防着 组件 等离子体 溅射 设备 | ||
【主权项】：
一种防着板，设置于设有靶材的等离子体溅射设备中，其特征在于，所述的防着板包括用于遮挡靶材上表面边缘的突出部，所述靶材的上表面是指所述靶材的被等离子体轰击的表面。
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