[实用新型]防着板、防着板-靶材组件及等离子体溅射设备有效
| 申请号： | 201220632542.7 | 申请日： | 2012-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN203007392U | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 赵欣凯;刘勃;李胜斌;李正勋;金相起;车奉周;刘占伟 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 罗建民;邓伯英 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 防着 组件 等离子体 溅射 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种防着板，设置于设有靶材的等离子体溅射设备中，其特征在于，所述的防着板包括用于遮挡靶材上表面边缘的突出部，所述靶材的上表面是指所述靶材的被等离子体轰击的表面。
2.如权利要求1所述的防着板，其特征在于，所述突出部的纵截面为矩形。
3.如权利要求1所述的防着板，其特征在于，所述防着板的突出部具有向外倾斜的侧面。
4.如权利要求1至3中任意一项所述的防着板，其特征在于，所述的防着板还具有设在靶材侧方的支撑部，所述突出部连接于所述支撑部。
5.如权利要求4所述的防着板，其特征在于，所述防着板的支撑部的两侧各连接有一个突出部。
6.一种防着板-靶材组件，包括靶材和设在靶材边缘处的防着板，其特征在于，所述防着板为权利要求1至5中任意一项所述的防着板。
7.如权利要求6所述的防着板-靶材组件，其特征在于，所述的靶材的纵截面为矩形。
8.如权利要求6所述的防着板-靶材组件，其特征在于，所述的靶材靠近防着板的一侧具有从靶材中心向外向下倾斜的上表面。
9.一种等离子体溅射设备，其包括如权利要求6-8任一所述的防着板-靶材组件。
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