[实用新型]靶片可移动的离子注入机有效
| 申请号： | 201220594743.2 | 申请日： | 2012-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN202905662U | 公开（公告）日： | 2013-04-24 |
| 发明（设计）人： | 崔保群;曹耀辉;李志军;路瑞亮 | 申请（专利权）人： | 秦皇岛博硕光电设备股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 066001 河北省秦*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型针对现有技术离子注入机需采用整形磁铁对离子束进行整形，使设备造价高、工艺复杂的不足，提供一种靶片可移动的离子注入机，它包括设置有放电室的离子源系统、设置有引出缝和引出电极的引出系统、设置有所述靶片的靶室，以及使所述靶片可移动的移动装置，离子束由所述的引出缝引出后通过引出电极进入所述的靶室，所述的移动装置使所述的靶片在所述靶室内垂直于所述的引出缝的长度方向移动，本实用新型结构的离子注入机可简化离子注入工艺、且设备造价低。 | ||
| 搜索关键词： | 靶片可 移动 离子 注入 | ||
【主权项】：
一种靶片可移动的离子注入机，包括设置有放电室(12)的离子源系统、设置有引出缝(13)和引出电极的引出系统、设置有所述靶片(19)的靶室(18)，以及使所述靶片可移动的移动装置，其特征在于：离子束由所述的引出缝(13)引出后通过引出电极进入所述的靶室(18)，所述的移动装置使所述的靶片(19)在所述靶室(18)内垂直于所述的引出缝(12)的长度方向移动。
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