[实用新型]靶片可移动的离子注入机有效

申请号：	201220594743.2	申请日：	2012-11-01
公开（公告）号：	CN202905662U	公开（公告）日：	2013-04-24
发明（设计）人：	崔保群;曹耀辉;李志军;路瑞亮	申请（专利权）人：	秦皇岛博硕光电设备股份有限公司
主分类号：	H01J37/317	分类号：	H01J37/317;H01J37/20
代理公司：	暂无信息	代理人：	暂无信息
地址：	066001 河北省秦***	国省代码：	河北;13
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摘要：
搜索关键词：	靶片可移动离子注入
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【权利要求书】：

1.一种靶片可移动的离子注入机，包括设置有放电室(12)的离子源系统、设置有引出缝(13)和引出电极的引出系统、设置有所述靶片(19)的靶室(18)，以及使所述靶片可移动的移动装置，其特征在于：离子束由所述的引出缝(13)引出后通过引出电极进入所述的靶室(18)，所述的移动装置使所述的靶片(19)在所述靶室(18)内垂直于所述的引出缝(12)的长度方向移动。

2.如权利要求1所述的靶片可移动的离子注入机，其特征在于，所述的离子源系统由RF电源驱动。

3.如权利要求1或2所述的靶片可移动的离子注入机，其特征在于，天线(11)设置在所述放电室(12)的顶部外。

4.如权利要求1或2所述的靶片可移动的离子注入机，其特征在于，天线(11)沿所述引出缝(13)的长度方向设置。

5.如权利要求3所述的靶片可移动的离子注入机，其特征在于，所述天线(11)沿所述引出缝的长度方向设置。

6.如权利要求1所述的靶片可移动的离子注入机，其特征在于，所述的引出缝(13)设置在所述放电室(12)的底部。

7.如权利要求1所述的靶片可移动的离子注入机，其特征在于，所述的引出电极由抑制电极(14)和地电极(15)组成。

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