[实用新型]靶片可移动的离子注入机

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种离子注入机，特别是涉及靶片可移动的离子注入机。

背景技术

离子注入技术越来越体现出其优越性，尤其是在太阳能电池生产过程中对于硅中P离子的掺杂应用方面越来越体现出其显著的优越性，它能将光电转换率由原来的POCl工艺的18.7％转化为19.2％，这一转换率的提高带来了显著的经济和社会效益。而现有的离子注入机通常采用整形磁铁对离子束进行整形，注入到靶片上，得到注入均匀的靶片。采用上述设备造价高，给企业造成了相当高的成本压力。

实用新型内容

本实用新型的目的是，针对现有技术离子注入机需采用整形磁铁对离子束进行整形，使设备造价高、工艺复杂的不足，提供一种工艺简单且设备造价低的靶片可移动的离子注入机。

本实用新型的目的是通过下述技术方案实现的：

一种靶片可移动的离子注入机，包括设置有放电室的离子源系统、设置有引出缝和引出电极的引出系统、设置有所述靶片的靶室，以及使所述靶片可移动的移动装置，离子束由所述的引出缝引出后通过引出电极进入所述的靶室，所述的移动装置使所述的靶片在所述靶室内垂直于所述的引出缝的长度方向移动；

所述的离子源系统由RF电源驱动；

天线设置在所述放电室的顶部外；

天线沿所述引出缝的长度方向设置；

所述天线沿所述引出缝的长度方向设置；

所述的引出缝设置在所述放电室的底部；

所述的引出电极由抑制电极和地电极组成。

采用本实用新型结构的离子注入机，由离子源产生的离子束，由引出缝引入到靶室，得到的离子束形状均匀，而靶片在垂直于引出缝的长度方向上运动，所以无需整形磁铁对引出的离子束进行整形，就可得到均匀注入的靶片，省去了价格昂贵的整形磁铁、降低了离子注入机的价格、简化了离子注入的工艺。

附图说明

图1为本实用新型靶片可移动的离子注入机实施例结构示意图。

附图标记说明：

11-天线  12-放电室  13-引出缝  14-抑制电极  15-地电极  16-真空室

17-阀门  18-靶室  19-靶片

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型做进一步地描述：

如图1所示，本实施例的靶片可移动的离子注入机，包括设置有放电室12的离子源系统、真空室16、引出缝13和引出电极。引出缝13设置在放电室12的底部，引出电极设置在真空室16的顶部内，离子束由引出缝13引出放电室12，经由引出电极进入靶室18，在靶室18内设置有靶片的移动装置，该移动装置能带动靶片19在垂直于引出缝13的长度方向移动。本结构的离子注入机，可得到离子注入均匀的靶片。为了得到束形更为均匀的离子束，使得靶片获得的注入离子更均匀，采用RF电源驱动离子源，天线11与放电室12绝缘设置，天线11沿引出缝13的长度方向设置，电极采用抑制电极14和地电极15组成。

上述结构的离子注入机，放电功率由放电室外的天线馈送入放电室，放电室内没有金属制成的电极，消除了金属电极引入的金属离子。

本实用新型采用RF电源驱动离子源，采用缝引出，引出的离子束为带状束，这样，当靶片在垂直于引出缝的长度方向上运动时就得到离子注入均匀的靶片，适合于批量生产。天线沿引出缝长度方向设置，提高放电室内等离子体在引出缝方向的均匀性，使引出的纯离子束在长度方向具有良好的均匀性，以利于批量生产太阳能电池。