[实用新型]晶圆研磨液供应系统的过滤器拆换自动回补注压装置有效
| 申请号： | 201220540405.0 | 申请日： | 2012-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN203019229U | 公开（公告）日： | 2013-06-26 |
| 发明（设计）人： | 黄怡文 | 申请（专利权）人： | 宸沅國際股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02 |
| 代理公司： | 天津三元专利商标代理有限责任公司 12203 | 代理人： | 郑永康 |
| 地址： | 中国台湾台北市大*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种晶圆研磨液供应系统的过滤器拆换自动回补注压装置，伴设于主混合槽后送至晶圆研磨液供应槽，再通往晶圆研磨机途中的每个过滤器换洗管路旁，其由备用混合槽、数个气动控制阀、排放管、数个传感器，及管控气压源气压流向气动控制阀的电脑连接而成，其中备用混合槽流入端接到主混合槽溢流端，备用混合槽流出端管接数个气动控制阀叉连接到临近过滤器换洗管路的过滤器流入端，且临近过滤器流入端所接的一气动控制阀为单进二出的气动控制阀，备用混合槽流出端连接一气动控制阀后，旁分数个叉路管接气动控制阀选换导入纯水或氮气，于每一过滤器顶部的排流端设置一感应器。本实用新型让研磨液供应不会产生整体系统压降保持供应流量及供应压力稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 供应 系统 过滤器 自动 补注 装置 | ||
【主权项】：
一种晶圆研磨液供应系统的过滤器拆换自动回补注压装置，不同于现有由供应晶圆研磨液主管路新注入新过滤器及及其相连管路的管路装置，其特征在于：伴设于主混合槽后送至晶圆研磨液供应槽，再通往晶圆研磨机途中的每个过滤器换洗管路旁，由备用混合槽、数个气动控制阀、排放管、数个过滤器，及管控气压源气压流向气动控制阀的电脑连接而成，其中备用混合槽流入端接到主混合槽溢流端，备用混合槽流出端管接数个气动控制阀叉连接到临近过滤器流入端，且临近过滤器流入端所接的一气动控制阀为单进二出的气动控制阀，其二出之一流出端叉连接到临近过滤器流入端，另流出端接设排放管，另于备用混合槽流出端连接一气动控制阀后，旁分数个叉路管接气动控制阀选换导入纯水或氮气，再于过滤器换洗管路的每一过滤器顶部的排流端设置感应传出端电接往电脑的一感应器。
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