[实用新型]晶圆研磨液供应系统的过滤器拆换自动回补注压装置

说明书

技术领域

本实用新型是一种晶圆研磨液供应系统的过滤器拆换自动回补注压装置，为禁断供应晶圆研磨液产出当中，任一过滤器阻塞换新后，能自动对清洗换上新过滤器内部回补注压晶圆研磨液，让研磨液供应不会产生整体系统压降保持供应流量及供应压力稳定的新颖自动化结构技术。 

背景技术

由于研磨晶圆用的晶圆研磨液非长久的时间不流动就会凝固损坏，因此供应晶圆研磨液的供应晶圆研磨液供应系统需24小时持续供应，又系统混成晶圆研磨液过程中，一经混酸完毕后会传送至晶圆研磨液供应槽，再泵送到过滤器模组过滤除较大的晶圆研磨液颗粒再供应至晶圆研磨机主管路，以避免大颗粒造成刮伤晶圆表面，因此过滤器模组的每个过滤器也会轮流阻塞，需要系统不停转情形下，以人工或以自控方式对通往或流出该个阻塞过滤器两端阀体关闭，实施此局部管路短暂封闭，进行排空积留的晶圆研磨液，并对此段封闭管路加以清洗吹干换上新过滤器，再使开通此段管路让研磨液供应槽的晶圆研磨液重新流往新过滤器，回复原先过滤器模组的全效过滤。 

然而重新开启通往或流出该个阻塞过滤器两端阀体让晶圆研磨液通过新过滤器时，使来自供应主系统各研磨液供应槽内的晶圆研磨液油量，须等待过滤器模组管路内晶圆研磨液重新注满新过滤器及流通该段阻塞过滤器两端阀体间的管路，在此注满过程中，很容易牵连系统整体供应晶圆研磨液压力及流量下降，因此必须需极小心注意避免供应系统会有压力下降影响良率，以免影响整个供应系统的压力及流量，而造成晶圆研磨时的流量及压力不稳定。 

有鉴于现有晶圆研磨液供应系统的更换过滤器后容易牵连系统整体供应晶圆研磨液压力及流量下降，导致晶圆研磨不良率提升的缺失，因而，本发明人乃积极研究改进之道，经过一番艰辛的苦思及试验过程， 终于有本实用新型产生。 

实用新型内容

本实用新型所要解决的主要技术问题在于，克服现有技术存在的上述缺陷，而提供一种晶圆研磨液供应系统的过滤器拆换自动回补注压装置，在换新过滤器后，自动对新过滤器进行回补注入晶圆研磨液压压力，其系伴设于主混合槽后送至晶圆研磨液供应槽，再通往晶圆研磨机途中的每个过滤器换洗管路旁，其由备用混合槽、数个气动控制阀、排放管、数个感应器，及管控气压源气压流向气动控制阀的电脑连接而成，其中备用混合槽流入端接到主混合槽溢流端，备用混合槽流出端管接数个气动控制阀叉连接到临近过滤器流入端，且临近过滤器流入端所接的一气动控制阀为单进二出的气动控制阀，其二出之一流出端叉连接到临近过滤器流入端，另流出端接设排放管，另于备用混合槽流出端连接一气动控制阀后，旁分数个叉路管接气动控制阀选换导入纯水或氮气，再于每一过滤器顶部的排流端设置感应传出端电接往电脑的一感应器，由此能自动对清洗换上新过滤器内部回补注压晶圆研磨液，让研磨液供应不会产生整体系统压降保持供应流量及供应压力稳定。 

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是： 

一种晶圆研磨液供应系统的过滤器拆换自动回补注压装置，不同于现有由供应晶圆研磨液主管路新注入新过滤器及及其相连管路的管路装置，其特征在于：伴设于主混合槽后送至晶圆研磨液供应槽，再通往晶圆研磨机途中的每个过滤器换洗管路旁，由备用混合槽、数个气动控制阀、排放管、数个过滤器，及管控气压源气压流向气动控制阀的电脑连接而成，其中备用混合槽流入端接到主混合槽溢流端，备用混合槽流出端管接数个气动控制阀叉连接到临近过滤器流入端，且临近过滤器流入端所接的一气动控制阀为单进二出的气动控制阀，其二出之一流出端叉连接到临近过滤器流入端，另流出端接设排放管，另于备用混合槽流出端连接一气动控制阀后，旁分数个叉路管接气动控制阀选换导入纯水或氮气，再于过滤器换洗管路的每一过滤器顶部的排流端设置感应传出端电接往电脑的一感应器。