[实用新型]晶圆研磨液供应系统的过滤器拆换自动回补注压装置

权利要求书

1.一种晶圆研磨液供应系统的过滤器拆换自动回补注压装置，不同于现有由供应晶圆研磨液主管路新注入新过滤器及及其相连管路的管路装置，其特征在于：伴设于主混合槽后送至晶圆研磨液供应槽，再通往晶圆研磨机途中的每个过滤器换洗管路旁，由备用混合槽、数个气动控制阀、排放管、数个过滤器，及管控气压源气压流向气动控制阀的电脑连接而成，其中备用混合槽流入端接到主混合槽溢流端，备用混合槽流出端管接数个气动控制阀叉连接到临近过滤器流入端，且临近过滤器流入端所接的一气动控制阀为单进二出的气动控制阀，其二出之一流出端叉连接到临近过滤器流入端，另流出端接设排放管，另于备用混合槽流出端连接一气动控制阀后，旁分数个叉路管接气动控制阀选换导入纯水或氮气，再于过滤器换洗管路的每一过滤器顶部的排流端设置感应传出端电接往电脑的一感应器。 

2.根据权利要求1所述的晶圆研磨液供应系统的过滤器拆换自动回补注压装置，其特征在于，所述该些气动控制阀分成单进单出的气动控制阀及单进二出的气动控制阀，由单进单出的气动控制阀布设为关闭备用混合槽流出端选择开放导入纯水或氮气，以及开启排放管排放之用，且备用混合槽流出端接一单进单出的气动控制阀控制开通后，分歧管接第一个单进二出的气动控制阀流入端，再由第一个单进二出的气动控制阀一流出端管接第二个单进二出的气动控制阀流入端，而第二个单进二出的气动控制阀一流出端管接第三个单进二出的气动控制阀流入端，第二个单进二出的气动控制阀另一流出端管接第四个单进二出的气动控制阀流入端，并使第三个单进二出的气动控制阀一流出端叉连接到临近一过滤器流入端，第四个单进二出的气动控制阀一流出端叉连接到临近另一过滤器流入端，而第三及第四个单进二出的气动控制阀未接往过滤器流入端的另流出端连接排放管。 

3.根据权利要求1所述的晶圆研磨液供应系统的过滤器拆换自动回补注压装置，其特征在于，所述电脑为可程控器型式。 

4.根据权利要求1所述的晶圆研磨液供应系统的过滤器拆换自动回 补注压装置，其特征在于，所述过滤器换洗管路由至少两个过滤器、数个气压控制阀连接而成，所有过滤器并联管接的汇流入端管接晶圆研磨液供应槽流出端，且所有过滤器并联管接的汇流出端管接晶圆研磨机流入端，而每个过滤器顶部的排流端管接气压控制阀排放，又于每个过滤器流入端分数叉路管接气压控制阀选换导入纯水或氮气，并于每一过滤器流出端叉分管接气压控制阀排放，另于每个过滤器临近汇流入端及临近汇流出端的接管部位设置气压控制阀，且对经过滤器顶部排流端管接气压控制阀排放，而过滤器换洗管路的所有气压控制阀亦受过滤器拆换自动回补注压装置的电脑管控。 

5.根据权利要求4所述的晶圆研磨液供应系统的过滤器拆换自动回补注压装置，其特征在于，所述该些气压控制阀皆为单进单出的阀体。